Реакторы для осаждения слоев

Рисунок 12.4- Трубчатый реактор пониженного давления с горячей стенкой и групповой обработкой пластин:

1 – кварцевая реакционная труба; 2– трехзонная резистивная печь; 3 – консольный загрузчик; 4 – кварцевая кассета; 5 – кремниевые пластины; 6 – затвор; 7 – задний фланец; 8 – входной патрубок; 9 – передний фланец.

Рисунок 12.5- Реактор колпакового типа пониженного давления с холодной стенкой и групповой обработкой пластин с возможностью плазменной активации процессов осаждения и плазменной очистки внутренних поверхностей: 1 – металлический колпак; 2 – подложкодержатель/ВЧ – электрод; 3 – пластины; 4 – выхлопной патрубок; 5 – входной патрубок.

Рисунок 12.6 - Конвейерный реактор атмосферного давления с горячей стенкой и непрерывной групповой обработкой пластин: 1 – кремниевые пластины; 2 – конвейер; 3 – нагреватель; 4 – инжекторный блок; 5, 6 – азотный затвор; 7 – выхлопной коллектор.

Рисунок 12.7 - Конструкция инжекторного блока для конвейерного реактора атмосферного давления фирмы Watkins - Johnson: 1 – кремниевая пластина; 2 – конвейер; 3 – нагреватель; 4, 5 – входной азотный затвор, 6 – инжектор с азотным разделением реагентов; 7, 8 – выходной азотный затвор; 9 – обдув обратной стороны пластины.

Рисунок 12.8- Планарный реактор пониженного давления с холодной стенкой и групповой обработкой пластин с возможностью плазменной активации процессов осаждения и плазменной очистки внутренних поверхностей: 1 – крышка реактора; 2 – дно реактора; 3 – стеклянный цилиндр; 4 – плазма; 5 – верхний электрод; 6 – изолированный ВЧ – ввод; 7 – нижний электрод; 8 – кремниевые пластины; 9 – нагреваемый пьедестал; 10 – выхлопной патрубок; 11 – входной патрубок.

Рисунок 12.9 - Универсальный планарный реактор пониженного давления с холодной стенкой и индивидуальной (поштучной) обработкой пластин с возможностью плазменной активации процессов осаждения и плазменной очистки внутренних поверхностей:

1 – кремниевая пластина; 2 – подложкодержатель/нижний электрод; 3 – корпус реактора; 4 – штифты подъемника пластины; 5 – электромагниты; 6 – ламповый блок; 7 – верхний электрод, 8 – откачной коллектор.