Свойства реагентов и реакции при ХОГФ

 

Таблица 12.1 - Физико-химические свойства газов

  Вещество Формула Состояние при н.у. Тпл,°С Ткпг,°С
Моносилан Дихлорсилан Тетрахлорид Si Тетраэтоксисилан Фосфин Диборан Аммиак Закись азота Гексафторид W Гексафторид М0 SiH4 SiH2Cl2 SiCl4 Si(OC2H5)4 PH3 B2H6 NH3 N2O WF6 М0F6 г г * * г г г г * * -185 -122 -68,1 -85,5 -133,8 -165,5 -77,8 -90,8 - - -112 8,3 57,6 166,5 -87,4 -92,5 -33,5 -88,5

 

Реакции разложения (пиролиза) и соединения реагентов:

 

500-600°С

SiH4 ¾¾® Si + 2H2­

350-500°С

SiH4 + O2 ¾¾® SiO2 +H2O(H2)­

350-500°С

700-900°С

SiH4 +N2O ¾¾® SiO2 + N2 + H2(H2O)

700-900°С

3SiH4 + 4NH3 ¾¾® W + 6HF

200-600°С

WF6 +2SiH4 ¾¾® WSi2 + HF

 

Таблица 12.2. – Обобщенные характеристики процессов осаждения

 

Характеристики РАД РПД
1) Производительность, пл/цикл 2) Уменьшение производительности при увеличении диаметра подложки 3) Разброс толщины слоев: ±% - по пластине - в партии пластин 4) Скорость осаждения, мм/мин 5) Расход газа – носителя, м3/n £ 50 Сильное     5-10 10-15 20-200 1,5-5 £200 Слабое     5-20 0,05

 

Одна из основных проблем ХОГФ – получение однородных по толщине слоев на пластинах большого диаметра.

Причины разброса толщины:

- формирование газовых потоков, завихрений

- диффузионные ограничения в зоне реакций

- неравномерный прогрев подложки

- обеднение газовой фазы активными компонентами.

В РПД обеспечивается высокая скорость диффузии ( в 1000 раз выше), высокая скорость пролета газов, что обеспечивает практически постоянную концентрацию активных веществ.

 

Расположение пластин и схема массопереноса в РПД, разброс по толщине

 

 

Рисунок 12.1 - Расположение пластин и схема массопереноса

Кроме того разброс может возникнуть в результате наклона пластин и нарушения коаксиальности пластин и реактора (рис.11.2)

 

 

 

 

Рисунок 12.2 – Причины возникновения разброса толщины

 

 








Дата добавления: 2016-01-29; просмотров: 732;


Поиск по сайту:

При помощи поиска вы сможете найти нужную вам информацию.

Поделитесь с друзьями:

Если вам перенёс пользу информационный материал, или помог в учебе – поделитесь этим сайтом с друзьями и знакомыми.
helpiks.org - Хелпикс.Орг - 2014-2024 год. Материал сайта представляется для ознакомительного и учебного использования. | Поддержка
Генерация страницы за: 0.005 сек.