Побудова зображення

Інформація, отримана за допомогою електронно-оптичної та детекторної систем, складається із координат положення пучка на зразку і відповідного набору інтенсивностей сигналів від кожного детектора. Її можна відобразити двома способами.

Сканування упродовж рядка. У цьому випадку пучок рухається по одній лінії. У результаті синхронного сканування по зразку та екрану ЕПТ створюється однозначна відповідність між послідовністю точок у просторі об’єкта й у просторі зображення (екран трубки). Якщо сигнал від одного із детекторів, наприклад, детектора вторинних електронів, використати для відхилення пучка електронів ЕПТ у напрямку y, то на екрані з’явиться крива лінія (рис. 2.6). При такому відображенні на екрані трубки положення по горизонталі відповідає відстані упродовж лінії на зразку, а відхилення по вертикалі відповідає інтенсивності сигналу. Наприклад, якщо використати для модуляції інтенсивності сигнал від

Рисунок 2.6 – Принцип відображення інформації при скануванні упродовж рядка: 1, 2 - області сканування по зразку і по екрану ЕПТ; 3 - положення пучка на зразку; 4 - рівень максимального сигналу; 5 - положення пучка при скануванні впродовж лінії з модуляцією по осі y; 6 - положення пучка без модуляції по осі y; 7 - рівень нульового сигналу

від детектора рентгенівського випромінювання, то можна отримати розподіл того чи іншого елемента на зразку.

Режим сканування упродовж рядка використовується у випадку, коли потрібно знати профіль сигналу, наприклад, перед проведенням досліджень топології поверхні з метою отримання зображення.

Сканування по площині. При формуванні звичайного зображення пучок сканує по зразку за двовимірним растром (x,y). Аналогічно відбувається сканування променя електронів по екрану ЕПТ (рис. 2.7). При цьому встановлюється однозначна відповідність між положенням пучка на зразку та точками на екрані трубки.

Рисунок 2.7 – Принцип відображення інформації при скануванні по площині: 1, 2 - області сканування по зразку та по екрану ЕПТ

Для відображення інформації про взаємодію електронного пучка з об’єктом використовується яскравісна модуляція, а саме: інтенсивність сигналу від одного з детекторів використовують для керування яскравістю плями на екрані ЕПТ.

Таким чином, створення зображення у РЕМ полягає в побудові картинки на екрані ЕПТ.

У РЕМ, завдяки операції відображення внаслідок синхронності розгорток, встановлюється геометричний зв’язок між будь-яким довільно обраним набором точок, наприклад, трикутник або квадрат на зразку зображено трикутником або квадратом на екрані ЕПТ.