Збільшення

Збільшення на зображенні у РЕМ залежить від довжини лінії сканування по поверхні зразка та від розміру екрана ЕПТ. Якщо розмір екрана за горизонталлю позначити через L, а довжину лінії, упродовж якої відбувається сканування на зразку, через l, то збільшення визначатиметься за співвідношенням

. (2.1)

Важливим поняттям у РЕМ, пов’язаним зі збільшенням, є елемент зображення, розмір якого потрібно знати при растрово-мікроскопічних дослідженнях.

Елементом зображення називають область зразка, на яку падає пучок електронів й інформація з якої передається для формування зображення однієї плями на екрані ЕПТ.

Діаметр елемента зображення залежить від збільшення таким чином:

, мкм. (2.2)

Дане поняття є фундаментальним при трактуванні умови фокусування та глибини фокуса. Зображення точно сфокусоване, коли область, зондована пучком на зразку, менша, ніж елемент зображення. Для отримання оптимальної якості зображення потрібно мати струми пучка максимальні, а діаметр пучка має бути досить малим порівняно з елементом зображення.

Відмітимо деякі важливі моменти, пов’язані зі збільшенням у РЕМ.

Оскільки довжина розгортки L фіксована й у більшості приладів становить 10 см, то збільшення буде регулюватися за допомогою довжини відрізка сканування l. Таблиця 2.1 ілюструє залежність розмірів області сканування та діаметра елемента зображення від збільшення.

Таблиця 2.1 – Залежність площі області сканування (S) та розміру елемента зображення від збільшення

При дослідженні поверхні потрібно використовувати комбінацію зображень, що отримані як при низьких, так і при великих збільшеннях. Для повного описання об’єкта потрібно провести фотографування у режимах різних збільшень та відзняти не одну ділянку на зразку.

Збільшення у РЕМ залежить тільки від струму збудження у відхиляючих котушках. Збільшення не залежить від струму збудження в обмотках об’єктивної лінзи, яким визначається фокусування пучка.

При зміні збільшення зображення не повертається навколо осі, оскільки струм збудження у котушках об’єктива постійний. Поворот зображення буде відбуватися при зміні робочої відстані від полюсного наконечника об’єктивної лінзи до зразка завдяки тому, що змінюється струм збудження у котушках лінзи при фокусуванні пучка.