ГЛАВА 9 КВАНТОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
9.1. Физические основы
Квантовая мектроника является областью электроники, которая исследуется явления генерации и усиления электромагнитных колебаний на основе эффекта вынужденного излучения, явления нелинейного взаимодействия мощного излучения с веществом, а также возможность создания квантовых электронных приборов и устройств — молекулярных генераторов (мазеров), квантовых генераторов (лазеров), усилителей и устройств нелинейного преобразования частот лазерного излучения.
В квантовой электронике используются физические явления, в которых основное участие принимают связанные электроны. Эти электроны входят в состав систем из атомов, молекул, отдельных кристаллов, континуальных сред всех агрегатных состояний вещества. В соответствии с законами квантовой механики энергия электрона, связанного в атоме, имеет ряд дискретных значений /Го.
Е2, £3, .... Е„,... Эти дискретные значения называют уровнями энергии. Весь набор разрешенных квантовой механикой уровней образует энергетический спектр атома. Основным уровнем £« назовем наименьший уровень. Все остальные уровни называют возбужденными.
Переход связанных электронов с одного уровня на другой сопряжен с излучением или поглощением электромагнитной энергии. частота которой определяется соотношением: )т\^ = {Е, — £}), где к — постоянная Планка; —частота излучения (поглощения) при квантовом переходе с уровня Е, на уровень Ег Излучение и поглощение происходит отдельными порциями, квантами света, или фотонами. При поглощении фотона энергия атома увеличивается.
23^
при испускании фотона — уменьшается, при поглощении энергии электрон переходит вверх, на более высокий уровень, при испускании фотона электрон совершает обратный переход вниз с умень- шеньем энергии атома. Такие скачкообразные переходы называют квантовыми переходами.
Различаются спонтанные (самопроизвольные) и вынужденные переходы. При спонтанном квантовом переходе испускание фотона происходит вне зависимости от воздействия внешних факторов на квантовую систему. При этом направление излучения и поляризация фотонов может быть любой. Вынужденный квантовый переход происходит под воздействием внешнего излучения частоты V, удовлетворяющего соотношению М/,у = (Д — Д). При этом в процессе вынужденного излучения фотон имеет направление излучения и поляризацию, соответствующую этим же параметрам фотона стимулирующего излучения. Частота испущенного фотона в точности совпадает с частотой вынужденного излучения (рис. 9.1).
Атом находится в возбужденном состоянии некоторое время х и скачкообразно переходит в невозбужденное состояние. Если предположить, что время жизни на возбужденном уровне составляет т„ то при большом числе возбужденных частиц Л} это время убывает по закону N1 = ТУо ехр(—//^о), где Л'о — общее число частиц; / — текущее время; т, — время, за которое ТУ,- убывает в е (2,7) раз. Частицы, потерявшие энергию и испустив фотон, могут вновь возбуждаться и переходить на уровень Д. Чем меньше т„ тем чаще будут испускаться фотоны. Вероятность спонтанного испускания с уровня Е\ А = 1/т,- определяет среднее число фотонов, испускаемых одной частицей в 1 с.
При спонтанном переходе с уровня Е\ на уровень Е2, Л21 называют вероятностью перехода. Полная вероятность Д спонтанного испускания с уровня Ei на любой другой уровень равна сумме вероятностей отдельных спонтанных переходов: А= ЪА,кь где А1к — коэффициент Эйнштейна для спонтанного испускания. Типичное время жизни возбужденных атомов составляет примерно 1 • 10~8 с.
Вынужденные квантовые переходы генерируют фотоны, которые являются копией фотонов, стимулирующих усиление электромагнитного излучения. Число вынужденных квантовых переходов
E-Ej
пропорционально плотности излучения pv на частоте v=---------------------------------------------- .
h
Число фотонов Л/у,/, поглощенных 1 см3 за 1с, пропорционально населенности пк нижнего уровня и плотности излучения pv: Nkl ~ Bkinkpv, где Bki — коэффициент Эйнштейна для поглощения в квантовой системе. Этот коэффициент характеризует вероятность поглощения и равен числу фотонов, поглощаемых одной частицей за 1 с при приведенной плотности излучения pv. Вынужденное излучение характеризуется числом фотонов Nik, испущенных 1 см3 за
1 с: Nik=Biknkxh где Bik — коэффициент Эйнштейна для вынужденного испускания, который характеризует вероятность вынужденного испускания. Этот коэффициент определяется числом фотонов, испускаемых в среднем одной частицей под действием излучения плотности pv = 1 за 1 с.
Эйнштейн рассмотрел равновесную систему, в которой число фотонов, испускаемых в переходе Е;■-> Ек с частотой v = {Е-,— Ek)/h, равно числу фотонов той же частоты v, поглощаемых при обратном квантовом переходе Ек -» Е\. И тогда
Nik + Nik = Nu; Aikn, + Blkn,pv = Вк,пф„
Коэффициенты Эйнштейна связаны следующими соотношениями:
S к ^ki Si & ¡к i
Л _ Snhv3 gк , п d
Aik — 3 » ki ~~ 3 ik»
ci gi С
где gi и gk— степени вырождения уровней is, и Ек соответственно;
, , 8rtv3
с — скорость света, коэффициент —г— характеризует плотность
с
энергии равновесного излучения.
Вероятность излучаемых переходов зависит от свойств уровней и между которыми осуществляются квантовые переходы. В квантовой системе имеет место резонансное поглощение фотонов. Суть этого явления заключается в том, что если атом находится на нижнем уровне £, и электромагнитное излучение содержит п фотонов частоты Е1к, то возможен переход атома на возбужденный уровень Ек. При этом поглощается фотон и число фотонов уменьшается и становится равным п— 1, т.е. вынужденные переходы вверх приводят к поглощению электромагнитной энергии вещества.
Различают также диполъные, магнитные, квадруполъные и безыз- лучательные переходы. Они сопровождаются изменением диполь- ного момента Р1к, магнитного момента М1к, квадрупольного момента которые связаны с коэффициентами Эйнштейна. Среди квантовых переходов различают также разрешенные и запрещенные переходы. Если в какой-либо момент вероятность перехода отлична от нуля, то квантовый переход возможен. Если же в момент перехода его вероятность равна нулю, то квантовый переход невозможен и такой переход называют запрещенным.
В случае, когда квантовый переход с некоторого возбужденного уровня, называемого метастабильным, на более низкие уровни запрещен правилами отбора, то такой уровень может существовать довольно длительное время (примерно 1 • 10-3 с). Под правилами отбора понимают установленные в квантовой механике разрешенные квантовые переходы между уровнями энергии квантовой системы при наложении на нее внешних возмущений. Если состояние системы характеризуют с помощью квантовых чисел, то правила отбора представляют возможные их изменения при квантовых переходах.
9.2. Спектральные линии
В идеальном случае возбужденные атомы из бесконечно тонких уровней энергии должны излучать строго монохроматическую волну. Однако практически излучение образует спектральную линию определенной ширины и формы. Даже для изолированных от внешних воздействий атомов линии излучения уширяются в соответствии с фундаментальным законом квантовой механики. Согласно принципу неопределенности, если & время жизни атома в возбужденном состоянии, то значение энергии его состояния &Е связано соотношением неопределенностей Гейзенберга AEAt * Ь. Неопределенность, или «размытие» уровня, обратно пропорциональна
времени жизни частицы т0 в начальном состоянии. Вследствие того, что время жизни свободной частицы на энергетическом уровне всегда конечно, то существует определенная естественная ширина спектральной линии. Спектральное распределение квантов спонтанного излучения определяет ширину уровня АЕ = Й/т0. Контур линии спонтанного излучения имеет лоренцеву форму с шириной линии Дул = Л Е/Н — 1/2ято. Шириной линии называют интервал частот между точками, для которых интенсивность излучения (или поглощения) падает в 2 раза.
Лоренцева форма линии имеет вид резонансной кривой с максимумом на частоте Уо и описывается форм-фактором #(у) = = \/2пА\л/[(у - у0)2 + АУл/4] (рис. 9.2).
В реальных условиях спектральные линии несколько размыты и представляют собой полосы излучения и поглощения. Причиной этому служат различные физические явления. Уширение линии происходит в том числе из-за Доплер-эффекта, вызывающего смещение частоты движущихся частиц. Доплеровски уширенная линия описывается функцией Гаусса и симметрична относительно частоты у0 (см. рис. 9.2). Форм-фактор доплеровски уширенной линии имеет вид #(у) = 1/л/яУгехр[—(V — Уо)/ут)2], где \Т — ч$щ/с — доплеровский сдвиг частоты при средней тепловой скорости движения излучающей частицы; с — скорость света. С увеличением частоты роль доплеровского уширения линии возрастает.
В твердых телах уширение спектральной линии может привести к их расщеплению вследствие влияния электрических и магнитных полей (эффекты Штарка и Зеемана).
В естественных условиях при равновесии между средой и веществом нижние энергетические уровни заселены более плотно, чем
радиоэлектронике входит в режим генерации, если в системе создается положительная обратная связь.
В тот момент, когда впервые догадались поместить возбужденную квантовую систему с инверсной населенностью уровней в резонатор Фабри — Перо, создающий положительную обратную связь в системе, родился лазер. Сначала это был мазер, затем лазер.
Первый лазер был создан в 1960 г. В качестве активного вещества использовали кристалл рубина. В основе работы лазеров лежит явление вынужденного излучения под действием внешнего электромагнитного поля, усиление и формирование потока излучения. Процесс возбуждения квантовой системы осуществляется путем накачки, т.е. импульсного или постоянного воздействия на активную среду электромагнитным излучением определенной частоты.
Возбуждение активной среды можно осуществлять по трех- или четырехуровневой схеме (рис. 9.3).
Примером трехуровневой схемы является кристалл рубина — А12Оз + Сг+++. Содержание атомов хрома составляет около 0,05 %. Красный цвет кристалла рубина обусловлен расположением энергетических уровней атомов хрома в рубине. Возбуждение атомов хрома в рубине происходит за счет оптической накачки. Возбужденные атомы хрома переходят в полосу поглощения Ез, их время жизни там составляет примерно 1 • 10_3с. В атомных масштабах соотношение 1 • 10-8 с и 1 • 10_3 с является вечностью и поэтому на метастабильном уровне накапливается большое число (больше половины всех) возбужденных атомов. Метастабильный уровень становится населенным и в квантовой системе возникает инверсия населенностей уровней по отношению к основному уровню Е\. На практике накачка рубина осуществляется лампой-вспышкой белого
лазеров на газовых средах.
Положительная обратная связь осуществляется с помощью двух зеркал, образующих интерферометр Фабри — Перо, который и является оптическим открытым резонатором.
В резонаторе могут возбуждаться колебания только определенной длины волны и структуры. Частоты этих колебаний называют резонансными, они соответствуют собственным частотам резонатора. Возникающие колебания имеют определенную структуру (моду), которая соответствует собственному типу колебаний резонатора (от лат. modus — мера, способ). Мода может быть интерпретирована как стационарная конфигурация электромагнитного поля, электрическая составляющая которой может быть записана в виде Е(г, 0 - Е0С/(г)ехр(/со/), где со — собственная частота резонатора.
Резонатор характеризуется добротностью Q, которая представляет собой отношение запасенной в резонаторе энергии к средней энергии за 0,5я периода колебаний. Добротность можно выразить через эффективное время жизни фотона тэф в моде Q = а>тэф. Электромагнитные волны, распространяющиеся вдоль оптической оси резонатора, отражаются и интерферируют между собой. Коэффициент отражения зеркал достаточно высок, так что в пространстве резонатора могут существовать электромагнитные колебания строго определенной длины волны. На поверхности идеально отражающих зеркал (примерно 100 %) амплитуда световых колебаний должна быть равна нулю. При этом фаза отраженной волны совпадает с
фазой, падающей только в том случае, когда длина резонатора X
Ь = п — где п — целое число (рис. 9.4).
Такую систему зеркал называют открытым резонатором, кото-
с
рый резонирует на собственных частотах у=—. В действительно-
2Х
сти существуют не резонансные линии, а резонансные полосы ши- £
риной Дур = — =1,5 • 10ю Гц для резонатора длиной в 1 м. В пре- 2
делах спектральной линии активной лазерной среды укладывается от десятка до тысяч собственных колебаний резонатора (рис. 9.5, а). Такой резонатор называют многочастотным.
Спектр собственных частот лазера определяется собственными частотами резонатора, лежащими вблизи максимума спектральной линии. Одновременно излучение лазера характеризуется поперечным распределением электромагнитного поля — поперечными модами. Эти колебания называют трансверсалъными электромагнитными колебаниями и обозначают ТЕМтпд, где д — указывает число полуволн на длине резонатора, индексы тип характеризуют число изменений направления поля вдоль осей х и у соответственно. На рис. 9.5, б приведены фотографии трансверсальных мод на зеркалах лазера. Так как индекс ц значительно больше индексов т и п, то индекс q обычно опускают. Мода ТЕМоо является аксиальной. Остальные колебания представляют собой неаксиальные
МОЛЫ
Для получения сверхкоротких лазерных импульсов используют метод синхронизации мод. В импульсных лазерах синхронизацию мод осуществляют с помощью помещаемого в резонатор нелинейного фильтра, который просветляется под воздействием излучения. В лазерах непрерывного действия синхронизацию мод выполняют путем модуляции энергетических потерь или фазы поля излучения на частоте, близкой к частоте межмодовых биений. В режиме синхронизации мод лазер излучает периодическую последовательность сверхкоротких импульсов с частотой, близкой к межмодовой частоте (100...500 мГц). Длительность импульсов излучения в этом режиме равна обратной ширине спектра генерируемых мод. Длительность импульсов в режиме синхронизации мод может достигать значений 1 • 10_13...1 • Ю~12 с, что позволяет резко повысить пиковую мощность излучения.
В последние годы резко вырос интерес к фемтосекундным лазерам. Одним из путей получения фемтосекундных импульсов является использование эффекта самомодуляции фазы. Из радиотехники известно, что изменение фазы волны во времени приводит к изменению ее частоты.
Уширение спектра позволяет сократить длительность импульса. Если энергия одиночного импульса в непрерывном цуге составляет 1 • Ю-8 Дж, то при длительности импульса 10 фемтосекунд (фс) пиковая мощность составляет 1 МВт.
Лазерные зерк&па обеспечивают возможность многократного прохода плоской волны, если волновой вектор направлен по оси интерферометра. Многократное прохождение в резонаторе световой волны обеспечивает ее усиление за счет многократного «опус-
101 пспии» метастабильного уровня и генерации фотонов строго по оси резонатора. Инвертированная активная среда при каждом проходе будет усиливать волну и повышать плотность фотонов.
Обычно одно зеркало делают глухим /?2 * 100 %, а второе— с К2~ 95 %. Накопленная в резонаторе энергия, преодолев определенный порог интенсивности излучения, выходит из зеркала с коэффициентом отражения /?2- Сформированный таким образом пучок лазерного излучения является когерентным излучением с высокой спектральной плотностью излучения.
Гармоническое колебание называют монохроматическим, если оно может быть описано выражением Л(/) = Ло зт(2ялу + сро), где АЦ) — текущее значение амплитуды; А0 — максимальное значение амплитуды; 2луо — круговая частота; ф0 — начальная фаза колебаний. Ширина спектра Av излучения определяется степенью монохроматичности излучения ц = Ду/уо , где vo — центральная частота. При ц << 1 излучение называют квазимонохроматическим. Лазеры позволяют получить излучение со значением ц « 1 • Ю-10 при достаточно большой мощности.
Понятие монохроматичности тесно связано с понятием когерентности. Когерентность света представляет собой взаимную согласованность протекания во времени световых колебаний в разных точках пространства и (или) времени, характеризующая их способность к интерференции.
Различают пространственную и временную когерентность. Пространственная когерентность связывается с корреляцией фазы колебаний в разных точках пространства в один и тот же момент времени. При сложении когерентных колебаний возникает устойчивая интерференционная картина.
Корреляцию колебаний в определенной точке пространства можно наблюдать только в определенном интервале времени. Этот интервал времени принято называть временем когерентности, которое обычно принимают за время жизни излученного колебания т. Расстояние, проходимое светом за время когерентности, называют
о
длиной когерентности I. При т » 1 • 10 с длина когерентности / =
= ст = 300 см. Если учитывать, что ширина спектральной линии связана со временем жизни, то Ду * 1/т. А длина когерентности связана с шириной спектральной линии формулой /« с/Ду. Таким образом, чем ^же частотный спектр излучения, тем больше время когерентности, выше степень временнбй когерентности и выше монохроматичность излучения.
Лазер представляет собой уникальный источник оптического излучения и уместно отметить особенности лазерного излучения.
Пространственная когерентность характеризует форму волнового фронта излучения. Лазерное излучение имеет высокую направленность, обусловленную свойствами оптического резонатора, и высокую спектральную мощность излучения. Описание законов распространения лазерного излучения в свободном пространстве и оптических системах производят с помощью пространственных параметров. К ним относятся диаметр пучка и его расходимость, диаграмма направленности, распределение плотности мощности (энергии) в поперечном сечении пучка, ось диаграммы направленности, ближняя и дальняя зоны лазерного излучения. Диаметр пучка лазерного излучения — диаметр поперечного сечения канала, внутри которого распространяется мощность лазерного излучения. Диаметр пучка на выходном зеркале плоского резонатора, как правило, определяется диаметром активного элемента. Если активный элемент имеет прямоугольное сечение, то размеры пучка определяются размерами сечения активного элемента. Размер поперечного сечении пучка, естественно, несколько меньше соответствующих размеров активного элемента, так как электромагнитное поле спадает к его краям. Конкретное значение размера поперечного сечения пучка зависит от размеров активного элемента, модового состава излучения и выбранного уровня энергии в пучке.
Расходимость лазерного излучения — это плоский или телесный Угол, характеризующий ширину диаграммы направленности лазерного излучения. Эту расходимость называют угловой. Существует также понятие энергетической расходимости, которое представляет собой телесный угол, внутри которого распространяется заданная Доля энергии.
Диаграмма направленности лазерного излучения — это угловое распределение энергии или мощности лазерного излучения. Ось диаграммы направленности лазерного излучения представляет собой прямую, проходящую через максимум углового распределения энергии или мощности лазерного излучения. При симметричном распределении поля ось диаграммы направленности совпадает с энергетической осью пучка.
Дальняя зона лазерного излучения — область пространства вдоль оси лазерного пучка, расположенная на таком расстоянии от излучателя лазера, начиная с которого диаграмма направленности остается постоянной. Диаграмма направленности носит дифракционный характер независимо от того, ограничен лазерный пучок реальной диафрагмой или нет. Известно, что при описании дифрак-
:л'А г. о.: ьз у юте я понятиями зон Френеля и Фраунгофера. Дальняя зона. лазерного излучения соответствует зоне Фраунгофера.
Рсспреоелеьие мощности мощности ипучения можно получить из измерений либо рассчитать по известным параметрам резонатора. Связь параметров пучка с параметрами резонатора определяется типом ре зон агора-
9.4. Типы лазеров
Твердотельные лазеры. Конденсированные среды — это твердые тела и шикосги. атомные частицы, которые связаны между собой. В таких телах не происходит самопроизвольный разрыв связей и конденсированные тела сохраняют свой объем.
3 твердотельном лазере активной средой служат диэлектрические кристаллы или стекла, активированные ионами редкоземельных элементов или ионами группы железа. В нем использовались оптическая какачка и открытый резонатор. Инверсия населенности »-ровней создается путем импульсного облучения мошной ксе- ноновой лампой. Ионы хрома Сг~~* поглощают излучение и переходят из основного уровня Е\ в полосу накачки £3. В результате безизлучательного перехода £3 -> £2 заселяется метастабильный уровень Ег, так что число возбужденных на нем атомов превышает число атомов на уровне Е\ (см. рис. 9.3, а). При стимуляции возникает излучение в красной части спектра путем перехода возбужденных ионов хрома уровня £2 на уровень Ех. Наиболее благоприятные условия возникают хтя генерации излучения с длинной волны к = 0Т6943 мкм.
На рис. 9.6 приведена типичная функциональная схема лазеров. Активный элемент, помешенный в оптический резонатор из двух зеркал, освещается осветителем, который питается от блока конденсаторной батареи и охлаждается с помощью охлаждающей системы. Зачастую в резонатор встраивается устройство управления, позволяющее формировать лазерное излучение с заданными пространственно временными характеристиками. Блок охлаждения отводит от активного элемента и осветителя тепловую энергию, выделяемую при излучении и поглощения света накачки. КПД твердотельных лазеров составляет несколько процентов и поэтому отвод тепла крайне необходим. Выходная мощность лазера характеризуется энергией накачки, пороговой энергией и длительностью импульса. Выходная мощность может достигать нескольких десятков джоулей в импульсном и около 100 мВт в непрерывном режимах.
Обратную связь в оптическом резонаторе можно включать и выключать с помощью устройства управления. Обычно используют электрооптический затвор, например, в виде ячейки Керра, Пок- кельса или Фарадея. Обратная связь включается на промежуток времени 1 • 1(Г8...1 • 1СГ9 с. Это время и определяет длительность импульса, т.е. накопленная на метастабильном уровне энергия возбужденных ионов хрома излучается в очень короткий промежуток времени (1 • 10~8 с), что позволяет развивать гигантскую мощность. Для фемтосекундных импульсов мощность увеличивается еще на четыре порядка. Сфокусированный поток такого излучения обладает гигантской плотностью мощности, способной разрушить любые материалы.
Такие конструкции называют лазерами с модулированной добротностью, а лазерные импульсы — гигантскими (примерно 10 Вт и более). Гигантские импульсы можно увеличивать по мощности, используя каскад лазерных усилителей. Эта мощность превосходит мощность самых больших электростанций мира.
Другой тип твердотельных квантовых генераторов — это лазер на стекле, активированном ионами неодима Ш+++. В настоящее время это один из наиболее распространенных типов лазеров благодаря хорошей технологичности и низкой стоимости стеклянных активных лазерных элементов. Это позволяет изготавливать активные элементы очень больших (102 см) размеров и снимать значительную энергию (104 Дж). Однако стекла имеют плохую теплопроводность и требуют применения эффективных систем охлаждения. Лазеры на неодимовых стеклах работают по четырехуровневой схеме (см. рис. 9.3, 6) и излучают на основной длине волны 1,06 мкм, а также могут излучать на длине волны 1,32 мкм. Это ближний инфракрасный диапазон. В режиме свободной генерации длитель-
ность импульсов излучения составляет 0,1... 10,0 мс. Мощность достигает значений 1013 Вт в режиме модулированной добротности и согласования мод.
Помимо неодима получили распространение лазеры, активный элемент которых активирован ионами Ег3+, Ти3+, Но3+ (европий, тулий, гольмий). Среди лазерных кристаллов, легированных неодимом, наибольшее распространение получил кристалл алюмоит- триевого граната УзАЬО^ с атомарной концентрацией Ш+++ до 1 % по отношению к иттрию. Другим распространенным активным элементом твердотельных лазеров является ортоалюминат иттрия УАЮз. Он также легируется ионами неодима.
Определенный интерес для создания миниатюрных твердотельных лазеров представляют монокристаллы двойного галий-гадоли- ниевого вольфрама (КГБ), легированные неодимом, а также гел- лий-скандий-гадолиний гранат (ГСГГ), легированный хромом либо неодимом. К настоящему времени эффект стимулированного излучения обнаружен более чем у 250 кристаллов с примесью ионов переходных групп (N<1, Ей, Но, Ег, Ти, УЬ).
Полупроводниковые лазеры — это лазеры на основе полупроводниковой активной среды, в которой используют квантовые переходы между разрешенными энергетическими зонами. Это отличает полупроводниковые лазеры от других типов, в которых используют квантовые переходы между дискретными уровнями энергии. В соответствии с зонной теорий полупроводников при поглощении фотона, энергия которого больше ширины запрещенной зоны 2^, произойдет переброс электрона из валентной зоны Еу в зону проводимости Ес (рис. 9.7, а). При этом в валентной зоне возникает дырка. Одновременно с генерацией электронно-дырочных пар в полупроводнике происходит процесс спонтанного излучения (рис. 9.7, б).
В полупроводнике имеет место вынужденная рекомбинация под действием света (рис. 9.7, в). Для создания условий усиления света
необходимо создать вырожденный полупроводник, в котором нарушено тепловое равновесие путем создания области электронов у дна зоны проводимости и области дырок у потолка валентной зоны.
Полупроводниковый лазер, в котором генерация когерентного излучения осуществляется в результате инжекции носителей заряда через электронно-дырочный переход диода, получил название ин- жекционного лазера, или лазерного диода с /?-я-гомоструктурой. Длина волны излучения лазерного диода зависит от ширины запрещенной зоны между энергетическими уровнями.
Наиболее распространенными являются лазеры с двойной гетероструктурой. В этих устройствах слой материала с более узкой запрещенной зоной располагается между двумя слоями материала с более широкой запрещенной зоной. Чаще всего для реализации лазера на основе двойной гетероструктуры используют арсенид галлия (ваАБ) и арсенид алюминия-галлия (АЮаАв). Каждое соединение двух таких различных полупроводников называют гетероструктурой, а устройство — диод с двойной гетероструктурой (ДГС). Преимущество лазеров с двойной гетероструктурой в том, что область сосуществования электронов и дырок (активная область) заключена в тонком среднем слое. Это означает, что много больше электронно-дырочных пар будут давать вклад в усиление — не так много их останется на периферии, в области с низким усилением. Дополнительно волна будет отражаться от самих гетеропереходов, т.е. излучение будет целиком заключено в области максимально эффективного усиления.
Сравнительно малые размеры резонатора не позволяют получить высокую направленность излучения. Состояние инверсии населенности уровней может достигаться электронной и оптической накачкой, электрическим пробоем в сильном поле.
Наилучший эффект генерации получен на прямозонных полупроводниках, среди которых ряды изоморфных твердых растворов А В5 , А2В6, А3В6, А4В6 и т.п.
Особый интерес вызывают материалы, составляющие изоперио- дические пары. Это кристаллы, различающиеся по количественному составу, ширине запрещенной зоны, но имеющие одинаковый период кристаллической решетки. С их помощью методами электронно-лучевой эпитаксии выращивают бездефектные гетеропереходы. Широкое распространение получили гетеролазеры, сформированные на основе гетероструктур. Полупроводниковый лазер, в котором генерация когерентного излучения осуществляется в результате излучательной рекомбинации в гетероструктуре, называ-
1 ют гетеролазером.
Наиболее эффективными оказались полупроводники типа А3В5 с высоким квантовым выходом излучательной рекомбинации. Наилучшими параметрами обладает гетеролазер на основе трехслойной (двойной) гетеростуктуры с активным слоем из узкозонного полупроводника, заключенного между слоями более широкозонного полупроводника. Двустороннее оптическое и электронное ограничение приводит к совпадению областей инверсной заселенности и светового поля. В таких лазерах уже при малом токе накачки можно получить устойчивую генерацию. Резонатором таких лазеров служат грани кристалла, но можно использовать и внешние оптические резонаторы. На рис. 9.8 приведена структура гетеролазера с резонатором в виде сколотых граней [110] кристалла, служащих зеркалами резонатора. Твердые лазерные растворы Сах8п1.хА5уР1_у позволяют получать коротковолновое излучение, растворы типа БпР — низкопороговые инжекционные лазеры инфракрасного диапазона. Дальняя ИК-область (X > 5 мкм) осваивается с помощью твердых растворов РЬ8х8е1_х, РЬх81-хТе.
Полупроводниковые лазеры могут быть объединены в многоэлементные излучатели — фазированные лазерные монолитные линейки. Мощность излучения в импульсном режиме может достигать значения 103 Вт. Изменяя интенсивность накачки, можно получить модулированное по амплитуде лазерное излучение.
Разработаны гетеролазеры с распределенной обратной связью. В таких лазерах одно из зеркал резонатора заменено дифракционной решеткой. С ее помощью можно получить излучение строго на определенных частотах.
С развитием технологии микроэлектроники, переходом на суб- микронный диапазон значительный интерес проявился к лазерам
на структурах с пониженной размерностью. К таким структурам относят прежде всего гетероструктуры с ограничением по одной из координат. В этом случае образуется область с двумерным электронным газам. Такие структуры называют квантовыми ямами. Структуры с ограничением по двум координатам получили название квантовые нити. Для структур с трехмерным ограничением принят термин квантовые точки.
Возможность управлять плотностью состояний обеспечивает существенный ресурс дальнейшего улучшения лазерных характеристик. Дискретизация спектра сводится к модификации распределения плотности состояний по энергии. Для работы лазера необходимо и достаточно, чтобы были инвертированы рабочие уровни — рабочие уровни в зонах, которые фактически обеспечивают пороговое усиление и необходимую скорость вынужденных переходов при сверхпороговой накачке. В полупроводниковых гомоструктурах необходимо также заполнять некоторое число уровней в зонах, которые прямо не участвуют в генерации. Обычная или невынужденная рекомбинация с участием этих уровней входит в выражение для пороговых потерь. Энергия этих уровней может быть меньше или больше энергии рабочих уровней. Более низкие уровни приходится заполнять, поскольку сами они не обеспечивают достаточного усиления — требуется мощная накачка. В объемном полупроводнике плотность состояний растет примерно как корень квадратный из кинетической энергии.
Совсем иная картина в низкоразмерных структурах. В квантовой яме плотность состояний возрастает скачком, и если она достаточна для получения эффекта генерации, то нет «неработающих» уровней.
Населенность уровней энергии, находящихся выше рабочих уровней, связана с температурным размытием квазиравновесной функции заполнения. Число носителей на этих уровнях соответствует интегралу от произведения плотности состояния на функцию заполнения по указанному интервалу энергии. Функция заполнения определяется положением уровня Ферми. Плотность состояний квантовых нитей и точек убывает с энергией, превышающей квантовый уровень. Благодаря этому можно оптимизировать энергетический спектр и уменьшить вклад нерабочих состояний, лежащих выше рабочего уровня. В таких лазерных средах можно существенно ослабить температурную зависимость усиления и порога генерации.
Использование квантовых эффектов в наноструктурах (1... 100 нм) для снижения пороговой плотности тока полупроводникового лазера позволяет оптимизировать профиль плотности состояний, т.е. речь идет о зонной инженерии или о создании структуры с заданной зонной структурой.
В лазерных наноструктурах в качестве активной среды обычно используют квантовые точки или квантовые штрихи. Небольшие квантовые нити называют квантовыми штрихами. Квантовые точки имеют дискретный энергетический спектр. При дискретном спектре не возникает тепловое уширение полосы излучения, а коэффициент усиления имеет тенденцию к стабилизации. Излучательное время жизни возбужденного нуль-мерного состояния не зависит от температуры среды, что позволяет улучшить температурную стабильность такого типа лазеров. Заметим, что для лазеров на квантовых структурах имеет место низковольтная электрическая накачка.
Рассмотрим некоторые типовые конструкции лазеров на структурах с пониженной размерностью. На рис. 9.9 представлена диодная конструкция лазера на квантовых точках. На подложке «-типа
ваМ выращивают гетероструктуру, между слоями AIo.85Gao.15As которой содержится 12 монослоев Ino.5Gao.5As квантовых точек. Верхний металлический слой контактирует с арсенидом галлия. Волновой канал Al0.05Ga0.95As имеет толщину 190 нм и служит проводником излучения к выходным окнам на границах структуры. Длина Ь и ширина канала \¥могут меняться 1...5 мм и 5...60 мкм соответственно. Торцы лазера покрыты высокоотражающим слоями
2п8е/1У^р2, формирующими своеобразный резонатор Фабри — Перо. Лазер работает в ИК-области спектра на длине волны 1,32 мкм.
Другой тип перспективной конструкции — лазер с вертикальным резонатором — представлен на рис. 9.10. Квантовое усиление в активной области достигается за счет процессов инжекции и рекомбинации электронов и дырок. Активная область состоит из нескольких квантовых ям или нескольких слоев квантовых точек. Лазерный резонатор типа Фабри — Перо образуется двумя брэгговскими зеркалами, которые формируют в едином технологическом процессе роста эпитаксиальной структуры.
Слои брэгговских зеркал располагаются параллельно подложке, а ось резонатора и направление излучения перпендикулярны плоскости пластины. Длина резонатора определяется как расстояние между зеркалами и составляет несколько Х/2, где X — длина волны излучения. Нижнее выходное зеркало образовано 25 периодами Х/4 слоев ваАБ и АЬАб, легированных до уровня 2 • 1018 см“3. Верхнее зеркало образовано из 5—20 периодами Х/А слоев. Возможно и
наоборот. Все определяется конструкцией, в которую встраивается лазер. Различают лазеры с излучением вверх (Top Emitter), вниз и через подложку (Bottom Emitter).
Генерация при комнатной температуре происходит в инфракрасном диапазоне на длине волны порядка 930 нм. Расчетное значение добротности составляет Q - 2,4 • 104.
Лазеры с вертикальным резонатором являются наиболее миниатюрными и перспективными источниками излучения.
Полупроводниковые лазеры находят широкое применение в устройствах обработки информации.
Жидкостной лазер — это квантовый генератор, рабочим веществом которого является жидкость. Такие лазеры делят на следующие типы: на красителях, органических и неорганических жидкостях. Жидкостные лазеры были получены на металлоорганических жидкостях, а именно на хелатах европия. Однако малая фотохимическая стойкость, большой коэффициент поглощения света не позволили их применять в промышленных конструкциях. Жидкостные лазеры на неорганических жидкостях по своим параметрам превосходят твердотельные лазеры по мощности генерации.
Неорганические жидкостные лазеры представляют собой раствор соединений типа TR+++ в неорганических растворителях сложного состава. Активными ионами в них служат, например Nd+++. Генерация происходит по четырехуровневой схеме с поглощением излучения накачки собственными полосами поглощения Nd+++. Рабочее вещество, например, смесь хлороксида (РОС13) с кислотой SnCl4 и ионами Nd+++ находится в режиме циркуляции и позволяет получить узкий спектр генерации.
В лазерах на красителях в качестве рабочего вещества используют сложные органические соединения. Растворы представляют собой красители в воде, спирте, бензоле или активированные красителями полимерные материалы типа полиметилметакрилат, полиуретан. Схема лазера на красителях представлена на рис. 9.11. Эти соединения обладают системой сопряженных связей и интенсивными полосами поглощения во всех областях спектра.
Главная особенность лазеров на красителях — это возможность перестройки длины волны генерируемого излучения в диапазоне от ультрафиолетового (примерно 330 нм) до ИК-диапазона (примерно
1,8 мкм). Грубую перестройку производят, меняя кюветы с красителем. Для этого нужно примерно 30 кювет с различными соединениями, которых насчитывается порядка тысячи. Тонкую настройку на заданную длину волны осуществляют с помощью спектрально-селективных элементов, вводимых в резонатор. Такими элемен- V. 260 '
ш
тами могут служить дисперсионные призмы, интерференционно-поляризационные фильтры и т.п. Накачку таких лазеров производят с помощью излучения импульсных ламп, лазеров других типов. В зависимости от типа накачки различают лазеры импульсного или непрерывного режимов работы.
Особый класс составляют лазеры с распределенной обратной связью (РОС). В РОС-лазерах роль резонатора выполняет структура с периодическим изменением показателя преломления или усилителя. Это можно осуществить, например, воздействуя на активную среду интерферирующими пучками накачки. РОС-лазеры способ-
л _ 1
ны генерировать на узкой линии (примерно 1 * 10 см ), которая легко перестраивается в пределах полосы усиления.
Лазеры на красителях с пассивной синхронизацией мод позволяют генерировать ультракороткие импульсы излучения (1 • 10"14 с).
Основная область применения жидкостных лазеров — спектроскопические исследования. Особенностью жидкостных лазеров является высокое значение ширины линии усиления активного перехода. Это обстоятельство позволяет создавать мощные лазеры в УФ-диапазоне длин волн. Одновременно можно производить плавную перестройку длины волны в достаточно широком диапазоне.
9.5. Газовые лазеры
Газовый лазер — это лазер, в котором активной средой являются газы, пары или смеси газов или паров. Как и все типы лазеров газовый лазер состоит из следующих основных элементов (рис. 9.12): активная среда с усилением на одной или нескольких линиях; оптический резонатор для создания положительной обратной связи; устройство накачки для создания инверсной населенности уровней.
Рис. 9.12. Схема гелий-неонового лазера:
/ — разрядная трубка; 2 — катод; 3 — капилляр со смесью газов; 4 — окна Брюстера; 5 — зеркала; 6— анод
Трубку или камеру с активной газовой средой помещают в оптический резонатор, состоящий из зеркал различной конфигурации. Плоскости зеркал должны быть перпендикулярны продольной оси трубки или камеры с газом. При создании в газе инверсной населенности уровней в результате накачки стимулируется процесс вынужденного излучения. Лазерное излучение выводится из резонатора через полупрозрачное зеркало, через края непрозрачного зеркала или через отверстие в нем.
Среди отличительных особенностей газовых лазеров по сравнению с лазерами на конденсированных средах следует отметить следующие: высокая оптическая однородность активной среды; узкие спектральные линии излучения; высокая степень когерентности излучения; острая направленность излучения; стабильностьчасто- ты излучения; широкий диапазон рабочих длин волн излучения; возможность использования активных газовых сред большого объема и протяженности.
По способу накачки газовые лазеры условно делят на газоразрядные, газодинамические и химические.
Лазеры на нейтральных атомах. Первым газовым лазером был гелий-неоновый лазер. Он относится к газоразрядным лазерам. Инверсная населенность уровней в нем осуществлялась с помощью газового разряда. Атомы возбуждались при их соударении со свободными быстрыми электронами. Давление газов выбирали в пределах долей миллиметра ртутного столба. Малая плотность газов позволяет зародившемуся в результате вынужденного излучения лучу многократно проходить между зеркалами резонатора, не искажаясь.
На рис. 9.13 приведена схема газового Не—№-лазера. Капилляр с газом помещают в цилиндр катода газоразрядной трубки. Окна Брюстера помогают уменьшить потери излучения за проход луча. В гелии-неоновом лазере рабочим веществом служат нейтральные атомы неона.
Инверсия населенностей уровней осуществляется за счет первоначального возбуждения атомов гелия на уровни Ег и £3. Они точно совпадают с уровнями £4 и Е5 возбужденных атомов неона. При столкновении возбужденных атомов гелия с атомами неона происходит перекачка энергии. Механизм резонансной передачи возбуждения позволяет перевести атомы неона в возбужденное состояние. Гелий как буферный газ является резервуаром возбуждений неона. Нельзя возбудить неон прямым переходом на уровни £* и Е$ из-за долгоживущего метастабильного уровня Е2. Инверсия населенностей достигается за счет долгоживущих уровней Е4 и Е5 Именно переход с них на уровень Еъ и позволяет получить стимулированное излучение в красном и инфракрасном диапазонах длин волн.
Опустошение короткоживущего уровня Ез неона происходит в результате соударений атомов неона со стенками разрядной трубки, это позволяет перевести их на уровень подбирая оптималь-
ный диаметр газоразрядной трубки (до 10 мм). Генерация в красном диапазоне происходит на длине волны 0,63 мкм (6328 А). Возможна генерация излучения гелий-неоновых лазеров на длине волны 1,15 и 3,39 мкм. В настоящее время получена генерация на более чем 450 переходах между уровнями нейтральных атомов. Помимо гелий-неонового лазера весьма популярен ксеноновый лазер, генерирующий на длине волны X = 3,5 мкм и гелий-ксеноновый (к = 2,02 мкм). Эти лазеры работают в непрерывном режиме, который обеспечивается газоразрядной накачкой.
Важнейшими особенностями газовых лазеров в отличие от лазеров на конденсированных средах являются высокая оптическая однородность активной среды, отюда узкие спектральные линии излучения, высокая монохроматичность и высокая когерентность, острая направленность излучения и стабильность частоты.
Газовые лазеры работают в широком диапазоне длин волн (100 нм...1000 мкм) и мощностей излучения (100 мкВт...1 МВт) в непрерывном режиме и до 1 ТВт в импульсном режиме.
Ионные лазеры используют в качестве рабочих веществ ионизированные инертные газы (ксенон, криптон, аргон, неон), а также ионы фосфора, серы, хлора, кадмия, цинка и др.
В ионных газовых лазерах лазерные переходы происходят между ионизированными уровнями. Этому способствуют большие плотности тока при ионизации газов. Инверсия населенностей уровней осуществляется между уровнями Е3 и £4. Уровень Еа с большим временем жизни сильно заселяется возбужденными атомами. Атомы возбуждаются при их соударении с быстрыми электронами в газовом разряде, а также путем перехода с полосы Е5 (рис. 9.14). Уровень Е3 имеет короткое время жизни относительно уровня Е\ и поэтому быстро опустошается. Для сильной ионизации газа ток пропускают через длинный капилляр, который охлаждается в результате выделения энергии. Для увеличения концентрации электронов в центре капилляра создают продольное магнитное поле, которое сжимает разряд и предохраняет стенки от разрушения.
На рис. 9.15 приведена одна из схем ионного лазера. Первичные электроны генерируются катодом и на своем пути в разрядной трубке ионизируют газ. Для компенсации перекачки газов используют длинную трубку, которая не шунтирует газовый разряд. Разряд в газе возбуждается постоянным, либо переменным высокочастотным полем.
Молекулярные лазеры — это оптические квантовые генераторы, в качестве активного вешества которых используют молекулы. В отличие от атомов молекулы газов имеют, помимо электронных, также колебательные и вращательные энергетические уровни.
Первый молекулярный лазер был реализован на смеси молекул углекислого газа и азота. Лазеры, в которых возбуждение рабочей смеси достигается за счет возбуждения разряда высокого давления и пучка быстрых электронов с энергией до 500 кэВ, называют элек- троионизированные С02-лазеры. С 1 м активной среды можно снять до 100 кдж. В электрическом разряде имеют место и нежелательные эффекты, такие как разогрев газа и диссоциация его молекул, Эти паразитные эффекты можно устранить, непрерывно прокачивая газовую смесь через разрядные трубки лазеров для регенерации газовой смеси.
Особую техническую трудность представляет лазерные зеркага. Их делают из кристаллов КС1, 2п$е, СсГГе, п-Са, >{аС1. Большая выходная мощность излучения выводится не как обычно через полупрозрачное зеркало, а через прозрачное для ИК-излучения окно в зеркале. Помимо молекулярных лазеров на С02 разработаны лазеры на парах воды, работающие на длинах волн X = 27,9 мкм,
X = 118,6 мкм.
В далеком инфракрасном диапазоне (к = 337 мкм) работают лазеры на молекулах НСЫ. Коэффициент полезного действия молекулярных лазеров достигает 20 %, а максимальная мощность 100 МВт и более.
Газодинамические лазеры — газовые лазеры, в которых инверсия населенностей создается в системе колебательных уровней энергии молекул газа с помощью адиабатического охлаждения нагретых газовых масс, движущихся со сверхзвуковой скоростью. Другими словами, в качестве активной среды используют быстро охлаждаемую смесь газов, инверсную населенность уровней в которой достигают при следующих условиях: скорость опустошения нижнего уровня лазерного перехода выше скорости опустошения внешнего уровня; время опустошения верхнего уровня больше времени движения газа в резонаторе. Эти условия обеспечивают так называемую инверсию населенностей верхних уровней.
На рис. 9.16. приведена схема газодинамического лазера. В камере сгорания сжигается углеводородное топливо с воздухом в качестве окислителя. Нагретая газовая смесь аэродинамическими средствами разгоняется до сверхзвуковой скорости (примерно
1,8 км/с) и резко расширяется. Молекулы газа (С02, Аг, N6) опустошают свой инверсный уровень, что создает условия для генера- 266
ции излучения. Оптический резонатор, зеркала которого параллельны потоку, имеет значительные размеры и способен усиливать колебания на длинах волн: 18,4; 16,7; 16,2 мкм. На С02-лазере получено излучение на длине X = 5 мкм. В непрерывном режиме получена мощность 102 кВт при КПД«1 %.
Эксимерные лазеры — газовые лазеры, активная среда которых представляет собой электронные переходы эксимерных молекул.
Эксимеры — двухатомные молекулы, не обладающие устойчивым основным состоянием. Такая двухатомная молекула лишь на короткое время приобретает стабильность и только в возбужденном состоянии. Когда эта молекула отдает свою энергию возбуждения через излучение и возвращается в основное состояние, она вновь распадается на свои два атома. Таким образом, по сравнению с возбужденным состоянием, основное состояние обладает чрезвычайно коротким временем жизни. У лазеров на эксимере это нестабильное основное состояние одновременно является нижним лазерным уровнем. Время жизни возбужденной эксимерной молекулы определяется временем ее радиационного распада. Нижнее состояние лазерного перехода опустошается в процессе разлета атомов эксимерной молекулы.
В лазерах используют галоидные соединения на инертном газе (Агр*, ЮТ7*, ХеСГ, ХеР*) и димеры инертного газа (Аг*2, Кг*2). Индекс * означает, что речь идет о молекулах с электронным возбуждением.
Для возбужденного электронного состояния, которое является верхним уровнем лазерного перехода, имеется минимум. Этот минимум и определяет существование эксимерной молекулы. Газ, содержащий эксимерные молекулы, является активной средой. Экси-
мерные молекулы, как правило, представляют собой короткоживу- щие соединения атомов инертных газов друг с другом, с галогенами и кислородом.
Конструкция эксимерных лазеров типична для газовых лазеров. Возбуждение активной среды производят электронными пучками, газовым разрядом, оптической накачкой или комбинацией этих способов. Длина волны излучения лежит в видимой или ближней УФ-области спектра.
Особенностью эксимерных лазеров является большая ширина линии усиления активного перехода. Это обстоятельство позволяет создавать мощные лазеры УФ-диапазона волн. Одновременно можно производить плавную перестройку длины волны в достаточно широком диапазоне. Эксимерные лазеры широко используются в промышленности, медицине, микроэлектронике, научных исследованиях.
9.6. Химические лазеры
Химические лазеры — лазеры, в которых инверсия населенностей создается во время экзотерических химических реакций, приводящих к преобразованию химической энергии в энергию электромагнитного излучения. Различают три вида химических реакций, на основе которых созданы химические лазеры: фотодиссоциация, или распад молекул под действием излучение; диссоциация молекул при электрическом разряде в газе; взаимодействие молекул, атомов и соединений.
Химический лазер с использованием реакции фторирования водорода представлен на рис. 9.17. Молекулярный азот N2 нагревают в камере до Т = 2000 К и одновременно в реактивную камеру вводят газообразный гексафторид серы (5Р6). В процессе смешения с горячим азотом происходит диссоциация с образованием атомов фтора. Смесь продувается со сверхзвуковой скоростью через сопла Лаваля. Одновременно вводится водород Н2. В результате взаимодействия фтора и водорода образуются колебательно-возбужденные молекулы фтористого водорода (НР)*, которые проникают через оптический резонатор из параллельных зеркал. В оптическом резонаторе возбуждается когерентное излучение на длине волны 2,6...3,6 мкм. Мощность непрерывной генерации достигает десятков киловатт при КПД * 10 %.
Лазеры на парах металлов — газовые лазеры, активная среда которых пары металла. Генерация газовых лазеров осуществляется на переходах атомов и атомарных ионов более 50 элементов, из них половина на переходах атомов или ионов металлов. Разрядная трубка с металлом помещается в трубчатую печь. Для поддержания разряда в ненагреваемых частях трубки используется буферный инертный газ, например гелий (рис. 9.18). В некоторых конструкциях буферный газ используют в процессе создания инверсной заселенности уровней, например в гелий-кадмиевом лазере. Вместо термического нагрева иногда используют явление катафореза, или движения дисперсионных частиц под действием электрического поля. Это явление вызвано существованием на границе двойного электрического слоя.
9.7. Лазеры на парах металла
Одной из перспективных конструкций является лазер на парах меди. При переходах с резонансного на метастабильный уровень в активной системе в лазере возникает уникально высокий коэффициент усиления. Эти лазеры могут работать в режиме сверхсветимости. при котором использование оптического резонатора необязательно.
Такая возможность позволяет использовать лазер на парах меди в качестве когерентных усилителей света, способных за один переход активной среды на несколько порядков усилить яркость световых пучков, формирующих изображение или какую-нибудь оптическую информацию. Лазер на парах меди генерирует в зеленой части спектра а = 0,510 мкм. Возможна генерация на желтой линии л = 0,578 мкм. Накачку активной среды в лазерах на парах металлов производят газовым разрядом, оптическим способом, рекомбинацией двукратно заряженных ионов.
Контрольные вопросы
1. Дайте определение квантовой электронике.
2. Как вы понимаете вынужденный квантовый переход?
3. Что такое вероятность вынужденного испускания и как ее выразить?
4. Что такое разрешенные и запрещенные квантовые переходы?
5. Какие факторы влияют на уширение спектральной линии?
6. Что такое процесс накачки?
7. Что собой представляет активная квантовая среда?
Н. Как вы себе представляете отрицательную температуру в квантовой системе? Что такое лазер?
9. Как создается положительная обратная связь в лазере?
10. Что такое мода лазера? Какие моды вы знаете?
11. Что такое добротность лазерного резонатора?
12. Что такое когерентность лазерного ипучения?
13. Как определяется {»сходимость лазерного излучения?
14. Что такое диаграмма направленности лазерного излучения?
15-Что такое твердотельный лазер?
16. Нарисуйте типичную функциональную схему лазера.
17. Какие активные среды твердотельных лазеров вы знаете?
18. Что такое полупроводниковый лазер?
19. Что такое инжекционный лазер и как он устроен?
20. Что такое гетеролазер и как он устроен?
21. Что собой представляет лазер с вертикальным резонатором?
22. Что такое жидкостной лазер и как он устроен?
23. Опишите конструкцию и дайте характеристику Не—№-лазеру. 24 что такое ионный лазер?
25. Что такое молекулярный лазер?
Дата добавления: 2016-06-13; просмотров: 3271;