Оборудование для быстрого термического отжига (БТО)

Преимущества БТО:

- индивидуальная обработка пластин;

- широкий диапазон термического цикла;

- высокая скорость нагрева (30-300°С/с);

- широкий диапазон рабочих температур (200-2000°С);

- высокая чистота процесса – реактор с «холодной» стенкой;

- воспроизводимость и равномерность обработки;

- малые габариты, вес, потребляемая мощность, стоимость;

- высокая производительность.

Применение БТО:

- эпитаксия;

- отжиг после ИИ;

- формирование мелких p-n-переходов;

- получение силицидов, оксидов, нитридов;

- выжигание омических контактов;

- оплавление стекла БСС, ФСС для СБИС и УБИС.

На рис.3.6 приведен типичный температурно-временной профиль быстрого термического отжига, а на рис. 3.7 – конструкция кварцевой камеры для БТО. На рис.3.8 и 3.9 приведены конструкции металлической и охлаждаемых камер соответственно.

Рисунок 3.6­– Типовая температурная характеристика для установок БТО

1 –вольфрамовые галогенные лампы;2 – полупроводниковая пластина;

3 – кварцевая труба; 4 – кварцевый поддон; 5 – пирометр; 6 – отражатель.

Рисунок 3.7 – Кварцевая камера БТО

.

1 – дуговая лампа; 2 – рефлектор; 3 – кварцевое окно; 4 – пластина;

5 – камера; 6 – опорные кварцевые штыри; 7 – окно из флюорида кальция;

8 – ИК-прожектор; 9 – откачка; 10 – ввод газов.

Рисунок 3.8 – Металлическая камера БТО

1 –вольфрамовые галогенные лампы; 2 – кварцевое окно; 3 – полупроводниковая пластина; 4 – водоохлаждаемое основание; 5 – механизм загрузки; 6 – ИК-термометр; 7 – опорные штыри; 8 – водоохлаждаемая камера; 9 – ИК-излучение.

Рисунок 3.9 – Охлаждаемая камера БТО