Оборудование для быстрого термического отжига (БТО)
Преимущества БТО:
- индивидуальная обработка пластин;
- широкий диапазон термического цикла;
- высокая скорость нагрева (30-300°С/с);
- широкий диапазон рабочих температур (200-2000°С);
- высокая чистота процесса – реактор с «холодной» стенкой;
- воспроизводимость и равномерность обработки;
- малые габариты, вес, потребляемая мощность, стоимость;
- высокая производительность.
Применение БТО:
- эпитаксия;
- отжиг после ИИ;
- формирование мелких p-n-переходов;
- получение силицидов, оксидов, нитридов;
- выжигание омических контактов;
- оплавление стекла БСС, ФСС для СБИС и УБИС.
На рис.3.6 приведен типичный температурно-временной профиль быстрого термического отжига, а на рис. 3.7 – конструкция кварцевой камеры для БТО. На рис.3.8 и 3.9 приведены конструкции металлической и охлаждаемых камер соответственно.
Рисунок 3.6– Типовая температурная характеристика для установок БТО
1 –вольфрамовые галогенные лампы;2 – полупроводниковая пластина;
3 – кварцевая труба; 4 – кварцевый поддон; 5 – пирометр; 6 – отражатель.
Рисунок 3.7 – Кварцевая камера БТО
.
1 – дуговая лампа; 2 – рефлектор; 3 – кварцевое окно; 4 – пластина;
5 – камера; 6 – опорные кварцевые штыри; 7 – окно из флюорида кальция;
8 – ИК-прожектор; 9 – откачка; 10 – ввод газов.
Рисунок 3.8 – Металлическая камера БТО
1 –вольфрамовые галогенные лампы; 2 – кварцевое окно; 3 – полупроводниковая пластина; 4 – водоохлаждаемое основание; 5 – механизм загрузки; 6 – ИК-термометр; 7 – опорные штыри; 8 – водоохлаждаемая камера; 9 – ИК-излучение.
Рисунок 3.9 – Охлаждаемая камера БТО
Дата добавления: 2016-01-29; просмотров: 1763;