Микроклимат и производственная гигиена

Для повышения выхода годных ИМС и воспроизводимости их параметров важно поддерживать стабильные климатические условия, высокую чистоту воздушной среды, технологических газов и жидкостей.

Температура и влажность относятся к климатическим параметрам производственных помещений и определяют понятие микроклимата.

Определенная и стабильная температура требуется для фотолитографических процессов, где важна стабильность линейных размеров. Постоянная температура помещения требуется при измерении электрических характеристик. Рабочая температура некоторых процессов (диффузии, эпитаксии, окисления др.) составляет 800 – 1200 ℃ и должна поддерживаться с точностью до десятых долей градуса. Изменение температуры помещения может внести погрешность в значение стабилизированной температуры процесса за счет изменения условий теплообмена с окружающей средой.

При высокой влажности воздуха производственных помещений пары воды адсорбируются на пластинах, кристаллах, технологических установках, что при нагреве может привести к образованию окислов. Наличие влаги может понизить точность измерений электрических параметров. Поэтому влажность должна быть минимальной, но не ниже 30 %. При низкой влажности усиливается проявление статического электричества, которое может привести к пробою созданных структур.

По температурно-влажностным параметрам установлены три класса производственных помещений – табл. 3.1.

 

Таблица 3.1

 

Параметры воздушной среды производственных помещений

 

Характеристика воздушной среды Класс помещения
Температура, ℃ летом 22±0,5 20±1 20±2 По ГОСТ 12.1.005-76
зимой 22±0,5 23±1 23±2
Относительная влажность, %   45±5 50±5 50±10
Максимальное число частиц размером более 0,5 мкм в 1 л воздуха

 

Производственная гигиена – это комплекс технологических и организационно-технических мероприятий, направленных на обеспечение чистоты воздушной среды производственных помещений и чистоты технологических сред с целью повышения качества выпускаемых изделий.

Воздушная среда характеризуется запыленностью, которая оценивается количеством частиц размером не менее 0,5 мкм в единице объема воздуха (в 1 л или в м3 воздуха).

Аэрозоли (механические частицы в воздухе) являются причиной появления проколов в окисле (рис. 1.7), приводящей к выходу из строя элементов и ИМС в целом. Частицы пыли на поверхности готовых структур приводят к пробоям и коротким замыканиям при электрических испытаниях ИМС и ее эксплуатации. По степени запыленности производственные помещения и ограниченные рабочие объемы делятся на 5 классов – табл. 3.1.

Помещения 1 – 3 классов называются чистыми комнатами или гермозонами. Перед подачей в помещения воздух проходит фильтрацию, давление воздуха внутри помещения немного превышает атмосферное для уменьшения проникновения наружного воздуха. Чистая комната содержит рабочее помещение, гардеробное помещение, переходные и обдувочные шлюзы, помещение для обработки приточного воздуха.

Рекомендуемые для различных операций классы микроклимата и запыленности приведены в табл. 3.2. Достичь высокой степени обеспыленности легче в ограниченных локальных рабочих объемах – боксах или скафандрах.

Определенные требования предъявляют к технологическим средам: технологическим газам и воде.

Технологические газы используются в различных целях. Защитные газы (азот, аргон, гелий) применяют для исключения окисления и коррозии на высокотемпературных операциях: пайке, сварке, герметизации, продувки реакторов эпитаксиальных и диффузионно-окислительных установок, транспортировке газов-реагентов и др.

Газы-реагенты используются как диффузанты, окислители, травители, восстановители. Аргон, азот, кислород применяются как плазмообразующие газы при ионно-плазменном распылении, вакуумно-плазменном травлении, плазмохимической обработке. Промышленно выпускаемые газы не имеют достаточной чистоты для полупроводникового производства, поэтому их тщательно очищают и осушают.

Вода, используемая в производстве, не должна содержать гидрозолей (механических частиц), растворенных солей, газов, примесей металлов и органики. Такая вода называется деионизованной.

Таблица 3.2

 

Классы производственных помещений и рабочих объемов для различных операций

 

Наименование технологических операций Класс помещения Класс рабочего объема по запыленности
по микроклимату по запыленности
Фотолитография
Вакуумное напыление
Химобработка, окисление, диффузия
Контроль электрических параметров на пластине
Скрайбирование, монтаж кристалло , разварка выводов
Герметизация -

 









Дата добавления: 2016-01-03; просмотров: 1093;


Поиск по сайту:

При помощи поиска вы сможете найти нужную вам информацию.

Поделитесь с друзьями:

Если вам перенёс пользу информационный материал, или помог в учебе – поделитесь этим сайтом с друзьями и знакомыми.
helpiks.org - Хелпикс.Орг - 2014-2024 год. Материал сайта представляется для ознакомительного и учебного использования. | Поддержка
Генерация страницы за: 0.004 сек.