МЕТОДЫ ИЗОЛЯЦИИ ЭЛЕМЕНТОВ ИМС

В ИМС с большим числом элементов одна из важнейших задач — изоляция элементов между собой, которую выполняют двумя способами: с помощью РN-перехода, включенного под обратное напряжение, и диэлектрической пленкой, в качестве которой может быть использована двуокись кремния.

Достоинство изоляции PN-переходом в том, что он технологически проще для создания, чем диэлектрическая пленка. Недостатки изоляции PN-переходом: наличие токов утечки в изоляции, т. е. токов неосновных носителей при обратном смещении, наличие паразитной барьерной емкости, которая создает паразитные обратные связи, уменьшает быстродействие схемы, зависимость тока утечки изоляции от температуры PN-перехода.

Достоинства диэлектрической изоляции по сравнению с изоляцией PN-перехода: более высокая степень изоляции за счет незначительных токов утечки, меньшие паразитные емкости, значительно большее пробивное напряжение. Недостаток — большая сложность создания, так как требуется увеличить число операций, а следовательно, возрастает стоимость.

Выводы. 1. Создание ИМС вызвано необходимостью увеличения надежности, уменьшения габаритных размеров массы, стоимости сложной электронной аппаратуры. 2. ИМС выполняет определенную функцию, имеет высокую плотность размещения элементов. Все элементы ИМС рассматриваются как единое целое. 3. По конструктивно-технологическим признакам ИМС делятся на полупроводниковые, пленочные, гибридные. 4. Изоляция элементов ИМС производится двумя способами: с помощью PN-перехода, включенного под обратное напряжение, и с помощью диэлектрической пленки.