Технологія виготовлення інтегральних мікросхем
В 1959 році була запропонована планарна технологія. Ця технологія вирішила основну проблему інтеграції, а пристрої – інтегральні мікросхеми.
Планарна – це технологія при якій всі елементи розміщуються в одній площині. Є планароно дифузійна і пленарно епітаксій на технології.
Стадії пленарно – дифузійної технологі
1.На поверхні моно кристалу кремнію p-типу термічним окисненням кремнію формують захисну плівку (0.5 мм) SiO2.
2.Нанесення фотосинтезу (світлочутлива емульсія)
3.Експонування шаблонів
4.Фоторезистор полімерується
5.Травлення розчином MF і зливання полімерного шару
6.Дифузія з газової фази, домішки n-типу.
Одержані елементи з’єднуються шляхом нанесення металізованих доріжок.
Недоліки технології:
- Мала чіткість меж p-n переходів
- Домішка розподіляється нерівномірно
- Якість НП – приладів невисока
Переваги:
Більш досконала пленарно – епітаксій на технологія. Вона базується на нарощенні тонкого ПН – шару на ПН – основі з будь яким типом провідності. При цьому кристалічні гратки вирощеного шару є точним продовженням кристалічних граток основи склад вирощеного шару може відрізнятися від складу основи.
Переваги:
Якість p-n переходів набагато вища, але вона дорожча
СЕМОТЕХНІКА ЕЛЕКТРОННИХ ПРИСТРОЇВ
Дата добавления: 2015-07-24; просмотров: 674;