Меднение с УДП

Газофазныее методы нанесения покрытий.

Химическое осаждение из газовой фазы – процесс, в котором покрытие образуется за счет протекания химической реакции восстановления металла на поверхности изделия.

Скорость роста покрытий ~ 1 – 5 мкм/час. Хорошая адгезия. Широкая гамма покрытий.

Примеры таких реакций:

CrCl2(газ) + Ni(тв) + H2 = Ni(тв) +Cr(тв)+ 2HCl

2TaCl5(газ) + 5H2 = 2Ta(тв) + 10HCl

TiCl4 +CH4 = TiC(тв) + 4НCl

2TiCl4 + N2 + 4H2 = 2TiN(тв) + 8HCl

2TiCl + 2xCH4+yN2+4(1-x)H2 = 2TiCxNy+ 8HCl

2ZCl + N2 + 4H2 = 2ZrN + 8HCl

Недостатки:

Высокая температура – изделия из материалов с высокой температурой плавления и поводки.

Экология – использование вредных газов и выброс вредных газов - утилизация!

Усовершенствование – CVD активированное плазмой – PACVD.

Магнетронный или диодный ВЧ разряд в разряженной газовой атмосфере

(10-100Па).

Преимущества:

Понижение температуры процесса до 300 - 600°С.

Высокие скорости осаждения и расширение гаммы покрытий – нитрид Si и бора, алмазоподобные пленки и т.д.

Недостатки: вредное для человека излучение сверхвысокой частоты.

Усовершенствование – CVD активированное плазмой – PACVD.

Магнетронный или диодный ВЧ разряд в разряженной газовой атмосфере

(10-100Па).

Преимущества:

Понижение температуры процесса до 300 - 600°С.

Высокие скорости осаждения и расширение гаммы покрытий – нитрид Si и бора, алмазоподобные пленки и т.д.

Недостатки: вредное для человека излучение сверхвысокой частоты.