ПРИЛАДИ І МЕТОДИ ДОСЛІДЖЕННЯ ПЛІВКОВИХ МАТЕРІАЛІВ

За останні 50 років прилади з електронним зондом стали одним із головних і незамінних інструментів для проведення досліджень у галузі фізики, матеріалознавства, інженерії, медицини, біології тощо. Електронним мікроскопам як приладом та електронній мікроскопії як методу досліджень завдячує сучасна мікроелектроніка, де вони використовуються на стадії наукових досліджень із плівкового і напівпровідникового матеріалознавства та у технологічному процесі для виконання контрольних і тестових операцій.

Історично найбільше поширення серед електронних мікроскопів отримали растровий та просвічуючий мікроскопи з електромагнітними лінзами, опису принципу роботи яких буде присвячено другий і третій розділи цього посібника. Важливі питання взаємодії пучка електронів з твердим тілом та підготовки зразків для мікроскопії розглядаються відповідно у першому та п’ятому розділах .

З 1980-х років починають використовуватися мікроскопи нового типу - скануючі, атомно-силовий і тунельний. Цим приладам частково буде присвячено четвертий розділ, де також ми коротко зупинимося на електронних мікроскопах спеціального призначення, які не отримали широкого використання з тих чи інших причин.