Піч, 4 – холодильник, 5,6 – механізм витягування
Метод зонноїплавки
Зонна плавка полягає в прогоні зони розплаву по довжині заготівки монокристала, одночасно в зоні розплаву концентруються домішки і відбувається очищення кристала, кінцеву частину якого потім видаляють. Нагрів здійснюється індукційним, радіаційно-оптичним або іншим методом. Швидкість вирощування за методами 4 і 5 близька до такої для 2 і 3 методів. При реалізації трьох останніх способів необхідне регулювання газового середовища вирощування.
Схема пристрою для зонної плавки:
Дата добавления: 2015-03-14; просмотров: 526;