Технологические модели
В качестве примера рассмотрим математическую модель технологического процесса изготовления тонкопленочных резисторов на основе сплава РС3710.
Для получения модели был проведен полный факторный эксперимент, типа ПФЭ-23. В качестве основных технологических факторов используют следующие:
1) температуру испарения – Х1;
2) температуру подложки – Х2;
3) толщину резистивного слоя (d) – Х3.
Были получены следующие уравнения регрессии:
;
;
;
;
tСТ - время отжига;
КСТ=1,0767 – 0,0175Х3; Kсп.= SOC/ Sст.
Х1=1823-1623 К; Х2=300-400 0С; Х3=200-400 .
Другим примером может служить модель адгезии контактных площадок типа хром – медь, нанесенных на ситалловую подложку.
На основании априорной информации были выбраны следующие технологические факторы:
1. температура подложки при напылении подслоя хрома;
2. скорость термического осаждения подслоя хрома;
3. степень вакуума в подколпачном устройстве;
4. толщина подложки хрома;
5. срок хранения подложки после химической очистки.
Был проведен анализ степени значимости выбранных технологических факторов. Он проводился методом отсеивающих экспериментов. В результате было установлено, что значимыми являются только два технологических фактора: Х1 – температура подложки при напылении подслоя хрома; Х2 – скорость термического осаждения подслоя хрома. Математическая модель технологического процесса напыления подслоя хрома имеет следующий вид:
, где Y – величина адгезии слоя ситалловой подложки.
Х1=300 0С; Х2=6 .
Стоимостные модели
В качестве примера можно привести стоимость кристалла полупроводниковой микросхемы (или платы гибридной микросхемы).
.
Эту формулу можно преобразовать через площадь.
SП – площадь подложки; Ск – стоимость проведения k-ой технологической операции изготовления ИМС; С0 – стоимость подложки; N – число кристаллов на одной подложке; SИМС – площадь, занимаемая одним кристаллом; РП – доля годных ИМС на одной подложке, %; М – число операций; S0 – стоимость подложки.
Дата добавления: 2017-06-02; просмотров: 384;