Осевые МЭМС-акселерометры (МА).

Упрощенные конструкции осевых МА приведены на рис. 2. Каждый ЧЭ включает ИнМ (1), упругие элементы (2), называемые также подвесами и опорную рамку или основание (3).

Каждый ЧЭ на рис. 2,а и 2,б имеет две пары подвесов, расположенных вдоль осей х, z, причем центр пересечения осей совпадает с геометрическим центром пластин ИнМ. Ось Oy является осью чувствительности этих ЧЭ, а подвесы ИнМ могут быть определены как крестообразные.

Каждый ЧЭ на рис. 2,в.г,д также имеют две пары подвесов, каждая из которых в отличие от крестообразных параллельна одной из осей(х или z) и расположена либо вдоль противоположных кромок пластин ИМ (в), либо параллель­но им (г, д). Указанные упругие элементы (подвесы) называются z-образными. Различие их определяется точкой соединения подвеса с пласти­ной ИнМ, которая для ЧЭ (в и г) находится в углах пластины ИнМ (кососимметрйчно), а для ЧЭ (д) – в центре пластины ИнМ.