Структура реального невыпрямляющего контакта.
Невыпрямляющий контакт, удовлетворяющий перечисленным требованиям, имеет сравнительно сложную структуру. Он состоит из нескольких последовательно соединенных контактов, рис.3.8.
| Для меньшей вероятности накопления неосновных носителей заряда около контакта металл — полупроводник потенциальный барьер здесь должен быть по возможности меньшим. Поэтому металл желательно подобрать с работой выхода, которая мало бы отличалась от работы выхода электронов, в полупроводнике. Так как это обеспечить |
Рис.3.8. Структура реального
невыпрямляющего контакта
|
трудно, то поверхностный слой полупроводника должен быть сильно легирован для обеспечения возможности туннелирования носителей заряда сквозь потенциальный барьер.
На контакте двух полупроводников с разной степенью легирования также может происходить накопление неосновных носителей заряда. Для меньшего влияния этого явления на характеристики и параметры полупроводникового прибора целесообразно в поверхностный слой полупроводника вводить примеси рекомбинационных ловушек (например, золото), что уменьшит время жизни носителей заряда в этой части структуры. При малом времени жизни накопленные носители заряда будут быстро рекомбинировать, т.е. процесс их рассасывания меньше будет сказываться на параметрах прибора.
Однако в реальных невыпрямляющих контактах часто образуются различные промежуточные слои, ухудшающие свойства контактов. Поэтому окончательную доработку технологии невыпрямляющих контактов проводят экспериментально.
Дата добавления: 2015-10-13; просмотров: 1326;

Рис.3.8. Структура реального
невыпрямляющего контакта