Уявлення про дифракцію повільних електронів

Хоча дифракція повільних електронів (ДПЕ) була відкрита Девісоном і Джермером ще в 1920-х рр., проте експериментальне застосування знайшла лише в 1960-х рр. Цей метод є інструментом для безпосереднього вивчення структури поверхні, початкової стадії епітаксіального росту, адсорбції поверхнею плівки хімічно активних газів. При ДПЕ дифракція електронів відбувається в 2–3 атомних шарах, а дифракційна картина може бути сформована як пружно, так і непружно розсіяними електронами (рис. 6.18). Оскільки у методі ДПМ використовуються прискорюючі напруги U ≤ 200 В, то розсіювання електронів дуже чутливе до адсорбованих газів. У зв’язку з цим робочий вакуум повинен бути ~ 10^-7 – 10^-8 Па.

Найбільш фундаментальне відкриття, яке здійснено методом ДПМ (сумісно з іонним проектором), - це реконструкція поверхні кристала в результаті поверхневої дифузії атомів.

Рисунок 6.18 – Схема електронографа повільних електронів: 1 – електронна гармата; 2 – флуореcцентний екран; 3 – зразок; 4 – сітки для уповільнення електронів, які не формують картину ДПЕ; 5 – електронний пучок; 6 – корпус приладу; 7 – вікно; 8 – відкачування залишкової атмо-сфери