Режими роботи РЕМ

Відповідно до типів та характеру випромінень у РЕМ реалізується декілька режимів роботи. Зокрема, в межах двох контрастів такими режимами є: хімічний склад (зображення формується лише ПВЕ); вторинні електрони (зображення формується в основному ВЕ) та топографія.

На рис. 6.11 представлена серія мікрознімків ілюструє зазначені режими роботи. Звертає на себе вагу той факт, що в режимі ВЕ досягається ефект підвищеної інтенсивності зображення порівняно із режимом ПРЕ.

Мікрознімки отримані від зразків у вигляді тонких плівок різних металів (товщина до 1 мкм), сконденсованих в умовах відкритого космосу (космонавт С. Савицька), що і обумовлює їх значне забруднення (позиції хімічного складу і ВЕ) і велику дефектність у зв’язку з опроміненням космічними частинками. На мікрознімках видно, що різні дефекти залягають в основному в об’ємі плівки, оскільки в режимі топографії не виявляються.

Крім режимів роботи мікроскопічного характеру, за допомогою РЕМ реалізуються інші режими роботи – катодолюмінісценція в області УФ та ІЧ випромінювання, рентгенівського випромінювання та ін.

Рисунок 6.11 – Приклади мікрознімків, отриманих методом РЕМ в режимі топографії (лівий нижній кут – а, б і лівий верхній кут – в, г); хімічного складу (правий верхній кут – а - г) та вторинних електронів (лівий верхній і правий нижні кути – а, б; лівий і правий нижні кути – в, г). Позначки на знімках зліва направо: прискорююча напруга в кВ; поточний кадр; загальна кількість кадрів; масштабна мітка