Элементы вакуумных систем

К элементам вакуумных систем относятся разборные соединения, элементы соединений трубопроводов, электрические вводы, смотровые окна (иллюмина­торы), устройства для передачи движения, гибкие элементы и др.

Разборные вакуумные соединения относятся к числу наиболее ответственных узлов любой вакуумной системы. Это связано с тем, что потеря вакуумной плотности вакуумной системы чаще всего вызывается разгерметизацией раз­борного соединения.

При выборе конструкции разборного соединения для работы в конкретной вакуумной системе необходимо руководствоваться следующими характеристи­ками:

1) натеканием, т.е. количеством газа, проникающего в единицу времени в ва­куумный объем между поверхностями уплотнителя и элементом соединения, а также за счет проницаемости газа через материал "уплотнителя;

2) газовыделением с поверхностей уплотнителя и элементов соединения, со­прикасающихся с вакуумным объемом;

3) механической прочностью соединения;

4) термической стойкостью, т.е. способностью выдерживать многократные нагревы и охлаждения без нарушения герметичности;

5) химической стойкостью;

6) легкостью монтажа и демонтажа соединения и степенью сложности его из­готовления;

7) простотой проверки герметичности.

В зависимости от требований, предъявляемых к разрежению в вакуумной сис­теме, в разборных вакуумных соединениях могут быть использованы как неметаллические, так и металлические уплотнители.

Ловушки

Работа вакуумных насосов может сопровождаться рядом нежелательных явлений:

─ проникновением паров рабочей жидкости из насоса в откачиваемый объ­ем;

─ загрязнением насоса откачиваемыми веществами с высоким давлением
насыщенных паров;

─ потерей рабочей жидкости через выхлопной патрубок;

─ утечкой откачиваемого газа.

Для ограничения этих явлений используют специальное сервисное оборудо­вание, которым в случае необходимости снабжаются насосы. К этому обору­дованию относят: ловушки, влагопоглотители, натекатели, конденсаторы, фильтры, уплотнители.

При высоких давлениях (более 10² Па) обратный поток паров рабочей жидкости задерживается встречным потоком откачиваемого газа, и в применении защитных устройств нет необходимости. При низких давлениях, когда длина свободного пути молекул газа становится во много раз меньше диаметра входного патрубка насоса, пары рабочей жидкости могут двигаться навстречу основному потоку и проникать в откачиваемую камеру.

Если температура насоса больше температуры откачиваемого объема, то обратный поток будет существовать до тех пор, пока вся рабочая жидкость не переместится в откачиваемый объем. Для защиты откачиваемого объема от паров рабочей жидкости применяют ловушки - устройства для парциальной откачки паров рабочей жидкости.

Требования к ловушкам:

· максимальные защитные действия на заданном сроке службы;

· минимальное сопротивление основному потоку откачиваемого газа;

· возможность регенерации;

· простота и удобство в эксплуатации.

В зависимости от принципа действия ловушки подразделяются на конден­сирующие, диссоциирующие (ионные) и сорбирующие.