Запорно-регулирующая арматура вакуумных систем

Запорно-регулирующая аппаратура представляет собой комплекс функцио­нальных средств вакуумных систем, предназначенных для перекрытия газовых потоков, создания дозированных потоков газа, стабилизации давления газов в вакуумных системах и камерах, аварийной защиты вакуумных систем при раз­герметизации, коммутации системы многопозиционной последовательной от­качки и т.д.

Классификация различных вакуумных затворов приведена на рис. 13.1.

Клапан – устройство, позволяющее регулировать или полностью прекра­щать поток газа в вакуумной системе.

Для перекрытия газовых потоков используют вакуумные клапаны и затворы, классифицированные по ряду признаков конструкционного и эксплуатационно­го характера.

Основными эксплуатационными характеристиками клапанов и затворов яв­ляются:

─ степень герметичности, определяемая потоком натекания газа через уп-
лотнительную пару, которая в зависимости от эксплуатационных требований лежит в пределах 10^-7… 10^-11 Па·м³/с;

─ проводимость в открытом положении, определяемая отношением потока га- за Q, проходящего через полость вакуумного клапана, к разности давле- ний (p₁ – р₂ ) на его входном и выходном отверстиях;

─ быстродействие, определяемое временем герметичного перекрытия;

─ ресурс работы, определяемый числом циклов перекрытия уплотнитель-
ной пары с обеспечением заданной степени герметичности;

─ минимальный поток газовыделения;

─ автоматизация.

Натекатель –вакуумный клапан, позволяющий регулировать и устанавливать малые потоки газа (например, при работе с газоанализаторами).

В качестве натекателей могут применяться пористые материалы, некоторые металлы, проницаемые для отдельных газов, например платина для водорода, серебро для кислорода и т.д.

Шибер –прямоугольная или фигурная пластина, используемая в качестве заслонки.

Напускной клапан –вакуумный клапан, предназначенный для напуска воздуха или газа в вакуумную систему до атмосферного или любого заданного давления.