Герметичность вакуумных систем

Герметичность вакуумной системы это свойство всех ее элементов и их соединений обеспечивать минимальное проникновение (натекание) газа через них.

Обычно натекание газа происходит через все места нарушения герметично­сти (поры или трещины в материале), называемые течами.

Для наблюдения за натеканием в простейшем случае необходимо, чтобы ва­куумная система была снабжена манометрическим преобразователем (вакуумметром) и вентилем, которым может изо­лировать систему от насоса.

Допустимый газо­вый поток, поступающий через все течи, определяется по формуле:

Qн ≤ 0,1·рраб·Sэф,

где Sэф – эффективная быстрота откачки объекта, т.е. Sэф= м3/с; рраб – рабочее давление, Па.

Приборы, специально сконструированные для обнаружения мест, получили название течеискателей.

Для определения места течей разработаны следующие методы течеискания, которые представлены в таблице 12.1.

Таблица 12.1

Значения максимально определяемой течи для различных методов течеискания

  № п/п   Методы течеискания   Сущность метода Значение максимально определяемой течи, м3·Па/с
Опрессовка (пробный газ) Испытуемый элемент обдувается пробным газом, который вместо воздуха начинает поступать в этот объект. Изменение состава остаточных газов в вакуумной системе регистрируется с помощью масспектрометра, настроенного на пробный газ   1·10-4
Люминесцентный Способ обнаружения течи основан на способности люминесцирующих веществ, протекающих через течь, светиться под действием ультрафиолетового облучения     1·10-6…1·10-7
Искровой (высокочастотный разряд) При приближении электрода высокочастотного трансформатора к месту течи образуется направленный разряд. Появление разряда связано с понижением давления воздуха в месте течи и улучшением условий электрического пробоя газового промежутка   1·10-2
Галогенный Принцип действия основан на изменении эмиссии электронов нагреваемой металлической поверхностью при попадании на нее пробного вещества, содержащего галогены, т.е. химические элементы F, Cl, Br, J.     1·10-6…1·10-7








Дата добавления: 2016-02-11; просмотров: 902;


Поиск по сайту:

При помощи поиска вы сможете найти нужную вам информацию.

Поделитесь с друзьями:

Если вам перенёс пользу информационный материал, или помог в учебе – поделитесь этим сайтом с друзьями и знакомыми.
helpiks.org - Хелпикс.Орг - 2014-2024 год. Материал сайта представляется для ознакомительного и учебного использования. | Поддержка
Генерация страницы за: 0.004 сек.