Герметичность вакуумных систем
Герметичность вакуумной системы – это свойство всех ее элементов и их соединений обеспечивать минимальное проникновение (натекание) газа через них.
Обычно натекание газа происходит через все места нарушения герметичности (поры или трещины в материале), называемые течами.
Для наблюдения за натеканием в простейшем случае необходимо, чтобы вакуумная система была снабжена манометрическим преобразователем (вакуумметром) и вентилем, которым может изолировать систему от насоса.
Допустимый газовый поток, поступающий через все течи, определяется по формуле:
Qн ≤ 0,1·рраб·Sэф,
где Sэф – эффективная быстрота откачки объекта, т.е. Sэф= 
м3/с; рраб – рабочее давление, Па.
Приборы, специально сконструированные для обнаружения мест, получили название течеискателей.
Для определения места течей разработаны следующие методы течеискания, которые представлены в таблице 12.1.
Таблица 12.1
Значения максимально определяемой течи для различных методов течеискания
| № п/п | Методы течеискания | Сущность метода | Значение максимально определяемой течи, м3·Па/с |
| Опрессовка (пробный газ) | Испытуемый элемент обдувается пробным газом, который вместо воздуха начинает поступать в этот объект. Изменение состава остаточных газов в вакуумной системе регистрируется с помощью масспектрометра, настроенного на пробный газ | 1·10-4 | |
| Люминесцентный | Способ обнаружения течи основан на способности люминесцирующих веществ, протекающих через течь, светиться под действием ультрафиолетового облучения | 1·10-6…1·10-7 | |
| Искровой (высокочастотный разряд) | При приближении электрода высокочастотного трансформатора к месту течи образуется направленный разряд. Появление разряда связано с понижением давления воздуха в месте течи и улучшением условий электрического пробоя газового промежутка | 1·10-2 | |
| Галогенный | Принцип действия основан на изменении эмиссии электронов нагреваемой металлической поверхностью при попадании на нее пробного вещества, содержащего галогены, т.е. химические элементы F, Cl, Br, J. | 1·10-6…1·10-7 |
Дата добавления: 2016-02-11; просмотров: 914;