Емкостные чувствительные элементы

Емкостные датчики (рис.9.9.) представляют собой кон­денсаторы с изменяющимся зазором d между обклад­ками, площадью пластин S или диэлект­рической проницаемостью e. Изменение входной величины вызывает изменение емкости конденсатора:

С = e_о e S/(d - Δd),

где S- площадь обкладок измерительных ёмкостей; x- перемещение обкладок; d - начальный зазор; Dd - изменение зазора; e - диэлектрическая проницаемость среды между обкладок; e_о- абсолютная диэлектрическая проницаемость вакуума.

Емкостные преобразователи с переменным зазором между пластинами (рис. 9.9а) служат для измерения линейных перемещений x с точностью до 0,1...0,01 мкм; с пе­ременной площадью (рис.9.9б)- для измерения ли­нейных и угловых перемещений; с изменением диэлектри­ческой проницаемости среды (рис.9.9в)- для изме­рения уровней, влажности, температуры, химического состава и др.

Рисунок 9.9 – Емкостные чувствительные элементы.