Надвисоковольтний електронний мікроскоп

У першому наближенні надвисоковольтний мікроскоп відрізняється від звичайного ПЕМ з електромагнітними лінзами високовольтною частиною. Для прискорення електронів у таких приладах використовують напругу порядку 1 МВ.

На рисунку 4.6 наведено зовнішній вигляд надвисоковольтного мікроскопа.

а б

Рисунок 4.6 – Зовнішній вигляд надвисокольтного мікроскопа (а) та його схема, на якому показані основні вузли (б): 1 – колона; 2 – високовольтний прискорювач; 3 – високовольтний генератор