Емкостные чувствительные элементы
Емкостные датчики (рис.9.9.) представляют собой конденсаторы с изменяющимся зазором d между обкладками, площадью пластин S или диэлектрической проницаемостью ε. Изменение входной величины вызывает изменение емкости конденсатора:
C = ε0εS/(d-∆d),
где S- площадь обкладок измерительных ёмкостей; х- перемещение обкладок; d - начальный зазор; ∆d - изменение зазора; ε - диэлектрическая проницаемость среды между обкладок; ε0- абсолютная диэлектрическая проницаемость вакуума.
Емкостные преобразователи с переменным зазором между пластинами (рис. 9.9а) служат для измерения линейных перемещений х с точностью до 0,1...0,01 мкм; с переменной площадью (рис,9.9б) - для измерения линейных и угловых перемещений; с изменением диэлектрической проницаемости среды (рис.9.9в)- для измерения уровней, влажности, температуры, химического состава и др.
Рисунок 9.9 - Емкостные чувствительные элементы.
Дата добавления: 2015-04-21; просмотров: 1505;