Условия конденсации вещества на подложке.
Условия конденсации вещества на подложке характеризуются отношением числа атомов остаточной среды NГ,приходящегося на 1 атом осаждаемого вещества пленки N.
, ат·см-2·с-1 ( 5 )
, ат·см-2·с-1 , (6)
где MГ -молярная масса газа (O2, N2), г/моль,
TГ - температура остаточных газов, К.
Для получения качественной пленки с минимальным содержанием в ней остаточного газа необходимо, чтобы NГ /N <<1
Поскольку подложка может быть сделана не из материала пленки, то при конденсации разных веществ параметры кристаллической решетки могут не совпадать.
Из-за несовпадения параметров электронной ячейки могут возникнуть напряжения, которые называются напряжениями несоответствия.
Дата добавления: 2015-01-13; просмотров: 789;