Физическое осаждение

Оосуществляется в результате конденсации вещества, переведенного в пар на кристаллической подложке, под которой понимается какая-то кристаллическая пластина.

Если температура Т_кр.>Т_исп. (кристаллизация испарения), то вещество испаряется из твердой фазы, минуя жидкость. При этом химические реакции отсутствуют. Процесс осуществляется на вакуумных установках.

Рисунок 41. Схема нанесения плёнок.

1 – вакуумная камера; 2 – карусель; 3 – подложка; 4 – испаритель; 5 – испаряемое вещество.

Условия нанесения пленок в вакууме.