Окисление. При изготовлении интегральных микросхем широко используется двуокись кремния

При изготовлении интегральных микросхем широко используется двуокись кремния. Пленка двуокиси кремния очень прочна, не имеет пор, химически инертна и может применяться для защиты поверхности микросхемы от воздействия окружающей среды. Пленка используется для маскирования поверхности кремния при проведении диффузии.

Коэффициент диффузии целого ряда примесных элементов в двуокись кремния на несколько порядков меньше коэффициента диффузии тех же элементов в кремний. Поэтому двуокись кремния обычно используется как маскирующее вещество, предохраняющее кремний от диффузии.

Окись кремния может быть наращена на кремний или нанесена химическим путем, а затем снята с тех мест, где предполагается диффузия. Для эффективного маскирования требуется слой двуокиси кремния толщиной от 0,2 до 1 мкм в зависимости от температуры и времени диффузии. Слой двуокиси кремния такой толщины получают при температуре 1000 - 1200° С в присутствии водяного пара, влажного или сухого кислорода. При использовании водяного пара процесс роста двуокиси кремния протекает наиболее быстро, а в атмосфере сухого кислорода слой двуокиси кремния получается наиболее плотным.

При образовании окисного слоя кремний берется из кремниевой пластины, а кислород — из окружающего газа. Окисная пленка образуется гораздо быстрее на сильно легированной поверхности кремния.








Дата добавления: 2014-12-22; просмотров: 1525;


Поиск по сайту:

При помощи поиска вы сможете найти нужную вам информацию.

Поделитесь с друзьями:

Если вам перенёс пользу информационный материал, или помог в учебе – поделитесь этим сайтом с друзьями и знакомыми.
helpiks.org - Хелпикс.Орг - 2014-2024 год. Материал сайта представляется для ознакомительного и учебного использования. | Поддержка
Генерация страницы за: 0.004 сек.