Порядок выполнения работы

1. Подготовить установку к измерениям. Для этого по рабочей инструкции к используемому в установке вольтметру ознакомиться с методикой измерения напряжения. В соответствии с инструкцией включить вольтметр, предварительно убедившись в правильности и надежности соединения элементов установки между собой, наличии и исправности заземления и приведя приборы в нужное исходное состояние (источник питания – ручки регулировки входного напряжения в нулевом положении, измерительные приборы – переключатель диапазонов на наибольшем пределе, тумблер К – в средине позиции).

2. Протереть рабочую поверхность образца ватой, смоченной спиртом. Поместить образец на столик установки, и перемещая его, подвести под зонды участок, выбранный для измерения. Опустить зонды на образец.

Следует помнить, что тонкие слои очень легко повреждаются, поэтому зонды должны опускаться на образец плавно, без удара, усилие их прижима к поверхности слоя не должно превышать заданного уровня и должно быть исключено перемещение образца при опущенных зондах.

Зонды следует размещать на расстоянии от краев образца или изолирующих боковых границ исследуемой области слоя не менее 5s, что позволяет избежать введения поправок при следующих вычислениях . При измерении на прямоугольных островках слоя (в настоящем практикуме такие островки появляются на пластинах в результате диффузии через маску с прямоугольными окнами) зонды надо устанавливать в прямоугольнике симметрично и параллельно его длинной стороне. Удельное поверхностное сопротивление в этом случае рассчитывается по формуле (5) с использование таблицы 1.

3. Затемнить образец с помощью съемного экрана (для образцов с удельным поверхностным сопротивлением более 500Ом).

4. Подключить тумблером К зондовую головку к источнику питания, включить источник и, плавно повышая его выходное напряжение, установить по амперметру рабочий ток согласно таблице 2. Если до измерения неизвестен даже порядок исследуемого слоя, то начать можно с тока 0,5мА.

5. С помощью цифрового вольтметра измерить напряжение на средних зондах при одном направлении рабочего тока, затем при обратном. Если полученные значения напряжения отличаются от их среднеарифметического более, чем на 6%, то зонды переставляют, сместив образец на расстояние до 0,5s, и измерение напряжения проводят вновь.

6. Снизить выходное напряжение источника питания до нуля, поднять измерительную головку и, переместив образец, опустить зонды на новый участок. Провести измерения как описано выше.

7. Закончив все измерения, поднять головку, привести приборы в исходное положение (см.п.1) и выключить вольтметр и источник питания.

8. Вычислить значения удельного поверхностного сопротивления, используя соответствующие расчетные формулы. В случае исследования однородных легированных эпитаксиальных слоев или пластин по рассчитать их удельные объемные сопротивления (после измерения толщины).

Список литературы

1. Павлов Л.П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов.-М.:ВШ,1987

2. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология произв.полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.-М.:ВШ,1986