Квадрупольный масс-спектрометр
В настоящее время наиболее широкое применение в вакуумном технологическом оборудовании находят квадрупольные масс-спектрометры. Их широкое внедрение объясняется рядом их положительных характеристик. Квадрупольные масс-спектрометры имеют высокое значение разрешающей способности и чувствительности при высокой скорости записи спектров и малых габаритных размерах, могут работать при давлениях вплоть до 10-2 Па, не имеют магнитного поля, что особенно важно с точки зрения их встраивания в вакуумные системы.
Конструкция прибора схематически показана на рис.6.16. Атомы и молекулы газа ионизируются электронами эмиттируемыми катодом 12. Ионы, образованные в ионном источнике I, заключенном в корпус 2, ускоряются в электрическом поле между источником и диафрагмами 4; 5 и попадают в масс-анализатор 7.
Идеальный квадрупольный масс-анализатор состоит из четырех электропроводящих параллельных гиперболических поверхностей. Для удобства изготовления в большинстве фильтров вместо гиперболических электродов применяются стержни круглого сечения (8–11), как показано на рис.6.16. Наилучшее приближение к гиперболическому полю при использовании цилиндрических стержней достигается в случае, если стержни размещаются так, что r =1.16rc, где r - радиус стержня, а rc - радиус вписанной окружности, касающейся всех четырех стержней. Противоположные электроды фильтра электрически соединены между собой, и к одной паре прикладывается потенциал U0+U1cosωt (где U0 постоянное натяжение, U1–амплитуда ВЧ-напряжения с частотой f = ω/2π), а к другой паре – потенциал U0+U1(сosωt +π). Для оптимальной работы квадрупольного фильтра важно, чтобы значения U0 и U1 были строго постоянными во времени и не изменялись по длине прибора, что предъявляет высокие требования к точности размеров и стабильности прикладываемых напряжений. Требуемая относительная точность на размеры стержней дается соотношением 1/4 (∆М/М ), а требуемая электрическая стабильность – соотношением 1/2 (∆М /М ), где М/∆М – заданное разрешение прибора по массе. Локальные изменения радиальных размеров стержней сказываются на работе масс-анализатора слабее, чем изменения аксиальных размеров, поскольку влияние
Рисунок 6.16 – Схема квадрупольного масс-спектрометра
последних может накапливаться. Ионы остаточного газа, вводимые из источника параллельно оси z, под действием перпендикулярных постоянного и ВЧ-полей, создаваемых приложенными к электродам напряжениям, испытывают поперечные колебания. Траектории ионов описываются уравнениями Матье, решение которых содержит либо экспоненциальный, либо колебательный множитель в зависимости от величины mi/е иона. При соответствующем выборе U0 и U1, ионы с данным значением mi/е будут иметь стабильные траектории, т.е. они будут осциллировать относительно оси 2 и в конце концов выходить с противоположного конца масс-анализатора. Ионы с другими значениями mi/е будут совершать нестабильные колебания возрастающей амплитуды, пока не попадут на стержни, в результате чего они нейтрализуются и выбывают из пучка ионов.
Поскольку математическое описание работы прибора невозможно без подробного рассмотрения уравнений Матье, описывающих движение ионов в поле масс-анализатора, то ограничимся утверждением, что через масс-анализатор на коллектор ионов 3, перед которым установлена диафрагма 6, ограничивающая пучок ионов, пройдут только ионы с массой, удовлетворяющей соотношению
. (6.18)
Из уравнения (6.18) видно, что развертку спектра масс можно осуществлять изменением U1 или ω . Обычно используют первый вариант, так как по техническим причинам он более удобен. Разрешающая способность прибора увеличивается с увеличением длины стержней и уменьшением энергии ионов.
Достоинством квадрупольного масс-спектрометра является то, что это безмагнитный прибор, не чувствительный к разбросу по скоростям ионов, входящих в масс-анализатор при ∆vi/vi ≤ 0,1. Это обстоятельство позволяет использовать его не только для анализа состава и измерения парциальных давлений газов и паров летучих веществ в вакуумных установках, но также для исследования массового состава компонентов плазмы и ионных пучков.
Наиболее распространенный серийный квадрупольный масс-спектрометр КМ-2 имеет диапазон масс 3–300 и разрешающую способность по массам 300. Чувствительность по аргону 1∙10-7 Па. Максимальное рабочее давление 1,3∙10-2 Па. В настоящее время разработаны и изготовлены квадрупольные масс-спектрометры с разрешающей способностью 2000 при длине стержней 30 см.
Недостатком квадрупольного масс-спектрометра является то, что его чувствительность монотонно уменьшается с увеличением массы измеряемых ионов, кроме того у него высокая геометрическая точность изготовления масс-анализатора.
Дата добавления: 2016-01-29; просмотров: 1050;