Иммерсионный объектив
Под иммерсионным объективом, называемым также катодной линзой, понимается комбинация электронной линзы с источником электронов – катодом. Иммерсионный объектив представлен на рис. 4.7.
 |
В иммерсионном объективе между катодом и анодом, имеющим положительный потенциал, помещена диафрагма, называемая модулятором и имеющая небольшой отрицательный относительно катода потенциал. Очевидно, что поле в области диафрагмы модулятора М будет фокусировать в электронный пучок, поле же в области анодной диафрагмы А будет оказывать рассеивающее действие. Однако общее действие такого иммерсионного объектива будет собирающим, так как в первой области скорости электронов, эммитируемых катодом, значительно меньше скоростей, набираемых ими в поле линзы при переходе к рассеивающей области.
Наряду с образованием электронного изображения, иммерсионный объектив может быть использован для управления величиной тока пучка электронов, проходящих через модулятор, так как изменяя отрицательный по отношению к катоду потенциал модулятора, можно изменять как размеры поверхности взаимодействия поля с пространственным зарядом электронов, так и саму величину этого поля, проникающего через отверстие в модуляторе.
Иммерсионный объектив является неотъемлемой и важнейшей частью электронно-оптических систем всех электронно-лучевых приборов.
Дата добавления: 2015-08-01; просмотров: 1133;