Пленочные индуктивности

Пленочные индуктивности применяются в качестве элементов фильтров, в целях коррекции частотных характеристик колебательных контуров и др.

Индуктивность в пленочных ИМС выполняется в виде спиралей различной конфигурации.

Расчет значения индуктивности проводится по эмпирическим зависимостям между ее конструктивными размерами и параметрами пленки, из которой она изготовлена. Большая площадь, занимаемая индуктивностью, S=1- 10см2, не позволяет применять в схемотехнике большие значения L> 0,5 мкГн, что ограничивает ее в низкочастотных схемах. Для уменьшения активных потерь толщина пленки выбирается 20-30мкм (толстопленочная технология). В тонкопленочных ГИС увеличение толщины достигается дополнительным наращиванием пленки гальваническим путем.

Для получения приемлемой добротности Q»20 выбирается материал с малым удельным сопротивлением: медь, серебро, алю­миний.

Пленочные проводники и контактные площадки (ПП и КП)

Для соединения в общую схему элементов и компонентов ГИС применяют пленочные коммутационные проводники. Контактные площадки необходимы для присоединения микросхемы к выводам корпуса. Пленочные проводники и контактные площадки должны обеспечивать надежный низкоомный, невыпрямляющий и малошумящий контакт с элементами микросхемы. Одновременно, являясь конструктивным элементом микросхемы, обкладки конденсатора должны быть технологически совместимы с другими элементами.

Требования, предъявляемые к ПП и КП, в ряде случаев противоречивы. Например, увеличение ширины ПП приводит к уменьшению его индуктивности, но одновременно к увеличению емкости относительно подложки и расположенных близко элементов; материалы с низким значением удельного сопротивления, как правило, имеют плохую адгезию (сцепление) к подложке. Если ПП одновременно является контактной площадкой, то его максимальная и минимальная толщина определяется возможностью формирования надежного контакта с внешними выводами. Образование контактных пар на основе проводящих и резистивных слоев выдвигает определенные требования к термическому коэффициенту расширения. При заданном удельном сопротивлении минимальная ширина проводящей пленки определяется предельно допустимой плотностью тока и теплового сопротивления системы проводник - окружающая среда.

Перечисленные ограничения предопределяют возможную толщину ПП в пределах 0,1-10 мкм и ширину КП 50-350 мкм.