Список літератури до розділу 6

1. Томас Г., Гориндж М.Дж. Просвечивающая электронная микроскопия.- М.: Наука, 1983.- 320 с.

2. Хейденрах Р. Основы просвечивающей электронной микроскопии.- М.: Мир, 1966.- 471 с.

3. Шиммель Г. Методика электронной микроскопии.- М.: Мир, 1972.- 300с.

4. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1.- М.: Мир, 1984.- 303 с.

5. Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок.- М.: Мир, 1989.- 342 с.

6. Эндрюс К., Дайсон Д., Киоун С. Электронограммы и их интерпретация.- М.: Мир, 1971.- 256 с.

7. Пинес Б.Я. Лекции по структурному анализу.- Харьков: ХГУ, 1967.- 476 с.

8. Миркин Л.И. Справочник по рентгеноструктурному анализу поликристаллов.- М.: Ф-М, 1961.- 863 с.

9. Горелик С.С., Расторгуев Л.Н., Скаков Ю.А. Рентгенографический и электронографический анализ. Приложение.- М.: Металлургия, 1970.-107 с.

10. Ермолов И.Н., Останин Ю.Я. Методы и средства неразрушающего контроля качества.- М.: ВШ, 1988.- 340 с.

11. Проценко І.Ю., Шумакова Н.І., Овчаренко Ю.М. Фізика твердого тіла.- Суми: СумДУ, 2002.- 76 с.

Розділ 7 Спектральні методи дослідження

Вступ

Сучасні методи мікроаналізу базуються на вимірюванні характеристик частинок і випромінювань, які генеруються у зразках, опромінених електронами, іонами, фотонами та ін. Ідентифікація елементів здійснюється за енергіями частинок випромінювань, а концентрація - виходячи із інтенсивності сигналу. Залежність хімічного складу від товщини отримується у процесі розпилення зразка зарядженими іонами.

У самому загальному випадку задачі мікроаналізу можна сформулювати таким чином: контроль і встановлення хімічного чи елементного складу на поверхні металевих, напівпровідникових і діелектричних малих частинок, плівок, покриттів, масивних матеріалів; пошаровий аналіз; дослідження поверхні та об’ємної дифузії, процесів окислення, корозії і т.п.

Із великої кількості відомих методів мікроаналізу ми основну увагу зосередимо на методах якісного і кількісного рентгенівського мікроаналізу (РМА), оже-електронної спектроскопії (ОЕС) і вторинно-іонної мас-спектрометрії (ВІМС). Обґрунтуванням і підставою такого вибору може послужити, з одного боку, їх висока ефективність і широке застосування, а з іншого - наявність даної приладової бази на кафедрі прикладної фізики Сумського державного університету.

1 Основи кількісного і якісного рентгенівського мікроаналізу (РМА)