Електричні манометри

До електричних манометрів відносяться:

-іонізаційні, побудовані на іонізації молекул газу і вимірюванні іонного струму, величина якого залежить від вимірюваного тиску;

-тензорезисторні, побудовані на зміні електричного опору провідника під дією зовнішнього надлишкового тиску. Провідником можуть бути будь-які метали або сплави та напівпровідники.

До тензорезисторних манометрів слід віднести комплекс тензорезисторних датчиків «Сапфір-22». Комплекс об’єднує перетворювачі:

-абсолютного тиску – «Сапфір-22ДА»;

-надлишкового тиску – «Сапфір-22ДВ»;

-тиску-розрідження – «Сапфір-22ИВ»;

-різниці тисків – «Сапфір-22ДД»;

-гідростатичного тиску (рівня) – «Сапфір-22ДГ».

Перетворювачі дозволяють здійснювати неперервне перетворення вказаних величин в уніфікований вихідний сигнал постійного струму (0…5 або 4…20 мА).

На рис. 5 показаний перетворювач надлишкового тиску «Сапфір-22ДИ». Перетворювач зібраний на основі 9. Між основою 9 та фланцем 5 розміщена гофрована мембрана 6 приварена до основи. Фланці 5 ущільнюються прокладкою 8. Надмембранна порожнина 4 і внутрішня порожнина надмемранного тензоперетворювача 3 заповнені кремнійорганічною рідиною. Порожнина 10 над тензоперетворювачем з’єднана з атмосферою. Вимірювальний тиск Р подається в камеру 7 і через гофровану мембрану 6 і рідину діє на мембрану тензоперетворювача 3. Прогин останньої, який лінійно залежить від вимірюваного тиску, перетворюється тензорезисторами, напиленими на мембрану тензоперетворювача в відповідну зміну електричного опору. Через герметизовані виводи 2 зміна опору сприймається електронним пристроєм 1 і перетворюється в уніфікований струмовий сигнал.

Перетворювачі «Сапфір-22» інших модифікацій виконані аналогічно. Границі вимірювань таких перетворювачів до 100 МПа.