Толстопленочные проводниковые пленки

Толстопленочные проводниковые пленки должны обладать следующими качествами: высокой проводимостью; хорошей адгезией к подложке (данное требование является общим для всех пленок); совместимостью с резистивными пастами для обеспечения электрического контакта; совместимостью с диэлектрическими пастами для создания конденсаторов и многослойной разводки соединений; возможностью присоединения навесных компонентов и внешних выводов микросхемы термокомпрессией, ультразвуковой сваркой или пайкой.

Проводниковые пасты могут изготавливаться на основе золота, золота-платины, золота-палладия, палладия-серебра, индия, рения. В последние годы активно исследуется возможность изготовления проводниковых паст на основе неблагородных металлов ‒ меди, никеля.

Толщина слоя проводника на основе композиции палладий-серебро составляет 10÷25 мкм, минимальная ширина (длина) проводника колеблется в пределах 0,15÷0,20 мм при нанесении пасты на керамику и 0,20÷0,30 мм при нанесении на слой диэлектрика. Минимальное расстояние между проводниковыми элементами 0,05÷0,20 мм в зависимости от рецептурного состава пасты. Сопротивление квадрата проводниковой пленки на основе данной композиции колеблется в пределах 0,05÷5,00 Ом/кв.

Пасты на основе золота обеспечивают наиболее низкое поверхностное сопротивление в пределах 0,001÷0,003 Ом/кв, а на основе композиции золото-платина ‒ менее 0,1 Ом/кв. Золотосодержащая проводниковая паста позволяет изготавливать дорожки шириной 125 мкм с расстоянием между ними 175 мкм при толщине пленки 12 мкм. Максимальная точность изготовления пленочных элементов из проводниковых паст на основе палладий-серебро находится в пределах ± 0,1 мм.