Тензорезисторы

Тензорезистор – это полупроводниковый резистор, в котором используется зависимость электрического сопротивления от механической деформации.

Назначение – измерение давлений и деформаций.

Принцип действия полупроводникового тензоризистора основан на тензорезистивном эффекте – на изменении электрического сопротивления полупроводника под действием механических деформаций.

Для изготовления тензорезисторов чаще всего используют кремний с электропроводностью n- и p-типов. Заготовки такого кремния режут на мелкие пластинки, шлифуют, наносят контакты и присоединяют выводы.

Основные параметры тензорезисторов:

1. Номинальное сопротивление тензорезистора – это сопротивление без деформации при t = 20⁰C (обычно оно имеет величину от нескольких десятков до нескольких тысяч Ом);

2. Коэффициент тензочувствительности – отношение относительного изменения сопротивления к относительному изменению длины тензорезистора:

.

Для различных тензорезисторов К лежит в пределах от −100 до +200;

3. Предельная деформация тензорезистора.

Деформационная характеристика – это зависимость относительного изменения сопротивления тензорезистора от относительной деформации.

Рисунок 2.3 – Деформационные характеристики тензорезисторов из кремния с электропроводностью р- и n- типов