Интерферометрический принцип

Принцип основан на сравнении измеряемой величины с пространственной естественной шкалой электромагнитных или акустических волн с использованием интерференциальных эффектов, обусловленных волновой природой излучения.

В последнее время интенсивно развивается способ голографической интерферометрии, применяемый для измерений деформаций и параметров вибраций. Для измерения очень малых линейных (10^-10 – 10^-4 м) и угловых (10^-3 – 100^//) размеров применяется метод рентгеновской интерферометрии, основанный на использовании естественной периодичности атомных плоскостей в совершенных монокристаллах.

Излучение от лазера 1 разделяется светоделителем 2 на два луча (рис.13.6), один из которых через фильтр 4 направляется на неподвижный отражатель 3, а другой – на такой же отражатель 5, связанный с объектом, перемещение которого измеряется. Световые лучи, отразившись от отражателей, снова попадают в светоделитель, где объединяются и интерферируют. Лучи, пришедшие с обоих отражателей с разностью хода в целое число длин волн (т. е. в одной фазе), дают максимум освещенности, а лучи с разностью хода в нечетное число полуволн (т.е. в противофазе) – минимум, в результате чего образуются так называемые интерерференциальные полосы. При перемещении объекта с отражателем 5 меняется разность хода интерферирующих лучей, что приводит к перемещению полос. Смещение подвижного отражателя на половину длины волны излучения лазера, т.е. на 0,5λ, соответствует одному периоду изменения светового потока. Число прошедших полос фиксируется фотоприемниками 7 и 9 и счетчиком 8. Для исключения погрешностей от вибрации применяется два фотоприемника 7 и 9, сигналы которых сдвинуты по фазе на π/2, и это дает возможность с помощью реверсивного счетчика суммировать импульсы.

Рис. 13.6. Схема интерферометра Майкельсона