Молекулярные вакуумные насосы
Удаление газа из вакуумной системы с помощью движущихся поверхностей называется молекулярной откачкой.
 |
Существуют две схемы молекулярной откачки:
• откачка при одинаковых направлениях движения пластины и газа (рис 7.4);
• откачка при взаимно перпендикулярном перемещении пластины и потока газа.
 |
Молекулярная откачка по схеме рис.7.4 осуществляется через канал, одна из стенок которого совершает относительное перемещение со скоростью υр параллельно оси канала х.
Молекулы газа, находящиеся в канале, соударяются с движущейся поверхностью, получая приращение количества движения в направлении насоса предварительного разряжения. При этом создается перепад давления р2 > р1. Данная схема удобна для получения больших коэффициентов компрессии (р2/р1) при малых значениях истинной быстроты действия насоса Sн.
На рис. 7.5 представлены некоторые конструкции молекулярных насосов.
Так в соответствии со схемой рис. 7.5,а насос имеет в статоре 3 набор цилиндрических канавок, входные и выходные отверстия в которых разделены перегородкой 1. Ротор вращается с большой частотой так, что его линейная скорость близка к тепловой скорости молекул.
Согласно схеме (рис. 7.5,б) спиральный паз 1 образует на поверхности статора 2 и цилиндрической поверхности ротора 3 рабочий канал.
Схема (рис. 7.5,в) предполагает, что в статоре 1 выфрезерованы два спиральных канала, суживающихся к центру. Между ними расположен вращающийся диск 2.
Для этих насосов рабочий диапазон давлений составляет 1,0…10-7 Па, остаточное давление – 10-7…10-9 Па, быстрота действия – 50…104 л/с при частоте вращения ротора до 40000 об/мин.
Дата добавления: 2016-02-11; просмотров: 976;