Датчик влажности газов

Конструктивно чувствительный элемент датчика влажности (гигрометра) выполнен (рис.10.5а) в виде пластины проводящего кремния – выполнен резистор Rk в виде полевого транзистора (МОП - резистор), имеющий электроды стока и истока (позиции 4 и 5 на рис.10.5а) и пористого электрода затвора 2, необходимого для проникновения в него влажного воздуха среды.

На рис.10.5бприведена принципиальная схема электронного преобразователя, реализующая зависимость выходного сигнала от диэлектрической проницаемости резистора Rk. Управляемое влажностью сопротивление Rk включено в обратную связь операционного усилителя ОУ1.

 

 

Рисунок 10.5 –Датчик влажности:а)чувствительный элемент датчика влажности: 1 - кристалл кремния, 2 - пористый электрод затвора, 3 - защитная сетка, 4 и 5 – гребенчатые электроды стока и истока, 6 – герметические вводы,

7 – электронная плата; б) принципиальная схема датчика влажности.

 

Диэлектрическая проницаемость смеси газов теоретически может быть вычислена по известным диэлектрическим проницаемостям компонент и весовых долей, входящих в ее состав:

где ei, Gi - соответственно диэлектрическая проницаемость и весовая доля вещества, входящего в состав смеси, e - диэлектрическая проницаемость смеси веществ.

В зависимости от влажности воздуха, находящегося в промежутке между электродами 4 и 5 – пористом электроде 2 (рис.10.5а), диэлектрическая проницаемость и проводимость резистора Rk будет изменяться. При постоянном R на выходе OУ2 будет равно

 

 

где: Uоп – опорное напряжение ОУ1, eвозд, eводы и eкр - соответственно постоянные значения диэлектрической проницаемости сухого воздуха, воды без примесей и окиси кремния; Gводы, Gвозд.- доли воды и воздуха.

При соответствующем выборе параметров схемы зависимость выходного сигнала датчика от влажности Wабс выглядит следующим образом:


где - крутизна статической характеристики датчика.








Дата добавления: 2015-07-14; просмотров: 912;


Поиск по сайту:

При помощи поиска вы сможете найти нужную вам информацию.

Поделитесь с друзьями:

Если вам перенёс пользу информационный материал, или помог в учебе – поделитесь этим сайтом с друзьями и знакомыми.
helpiks.org - Хелпикс.Орг - 2014-2024 год. Материал сайта представляется для ознакомительного и учебного использования. | Поддержка
Генерация страницы за: 0.005 сек.